[发明专利]一种激光光束匀化衰减器有效
申请号: | 201811614442.X | 申请日: | 2018-12-27 |
公开(公告)号: | CN109579984B | 公开(公告)日: | 2021-04-02 |
发明(设计)人: | 王振宝;吴勇;陈绍武;武俊杰;王飞;张磊;杨鹏翎;冯国斌 | 申请(专利权)人: | 西北核技术研究所 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 汪海艳 |
地址: | 710024 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光 光束 衰减器 | ||
1.一种激光光束匀化衰减器,其特征在于:包括衰减腔(2);
所述衰减腔(2)为中空密封腔体,内壁经漫反射表面处理,形成漫反射层;
衰减腔(2)相对两端同轴开设取样入射孔(1)与出射孔(7),衰减腔(2)内部靠近出射孔(7)的一端固定有对激光高透射的透射体(3),透射体(3)表面正对取样入射孔(1)的位置处设置对激光高反射率的漫反射膜(4),所述漫反射膜(4)的直径大于取样入射孔(1)直径。
2.根据权利要求1所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:取样入射孔(1)的迎光面上开有倒角孔(6)。
3.根据权利要求1所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:透射体(3)为白宝石或石英玻璃制成。
4.根据权利要求3所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:透射体(3)粘接固定在衰减腔(2)的内腔。
5.根据权利要求1所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:还包括基座(12)及固定底板(5);衰减腔(2)由开设在基座上的一端封闭、一端开口的腔室及固定底板(5)构成;固定底板(5)与腔室开口端可拆卸连接;取样入射孔(1)位于腔室的封闭端,出射孔(7)开设在固定底板(5)上。
6.根据权利要求1所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:所述衰减腔(2)包括固定底板(5)及衰减腔本体(21),衰减腔本体(21)为一端封闭的筒体,取样入射孔(1)位于衰减腔本体(21)的封闭端;
固定底板(5)开有台阶孔,其中小端为出射孔(7),大端内壁与衰减腔本体(21)外壁螺纹连接。
7.根据权利要求6所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:还包括沿腔体本体(21)内壁周向设置的挡圈(9),用于固定透射体(3)。
8.根据权利要求6所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:透射体(3)粘接固定在固定底板(5)上。
9.根据权利要求1-8任一所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:衰减腔(2)采用石墨或铝、铜制成,内壁喷砂处理形成漫反射层。
10.根据权利要求1所述的激光光束匀化衰减器,其特征在于:所述衰减腔(2)呈二维面阵方式设置在激光功率密度测量靶板上。
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