[发明专利]一种电子束蒸发镀钛的方法在审
| 申请号： | 201811614783.7 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN109536885A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 刘齐成 | 申请（专利权）人： | 广州海鸥住宅工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/30 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 511400 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子束扫描 电子束蒸发 镀钛 钛靶材 预热 电子束 电子束轰击 表面杂质 工件表面 清洗工件 真空条件 清洁 高能量 结合力 牢固性 膜层 去除 用时 蒸发 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，包括，
S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；
S2、利用电子束对钛靶材进行预融；
S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；
S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的钛靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀钛。
2.根据权利要求1所述的电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，S1步骤中，所述清洗工件为利用工业除油剂或酒精对工件进行清洗。
3.根据权利要求1或2所述的电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，S1步骤中，所述真空条件为真空度不低于7×10-3Pa。
4.根据权利要求1-3任一所述的电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，S2步骤中，所述预融时电子束的功率为36kW。
5.根据权利要求1-4任一所述的电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，S3步骤中，所述电子束扫描的功率为36kW,扫描时间为1分钟，所述工件在扫描过程中保持转动，转速为16圈/分钟。
6.根据权利要求1-5任一所述的电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，S4步骤中，所述电子束蒸发镀钛的功率为40-70kW。
7.根据权利要求1-6任一所述的电子束蒸发镀钛的方法，其特征在于，所述工件为黄铜、不锈钢、铁制成的五金工件中的一种。
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