[发明专利]晶圆防脱落装置

权利要求书

1.一种晶圆防脱落装置，其特征在于，包括片盒固定架(100)、转动组件(200)和驱动组件(300)；

所述片盒固定架(100)内用于固定待清洗的晶圆；

所述片盒固定架(100)连接在所述转动组件(200)的一端，所述驱动组件(300)连接在所述转动组件(200)的另一端；

所述驱动组件(300)能够驱动所述转动组件(200)旋转，使所述转动组件(200)带动所述片盒固定架(100)倾斜，并使所述转动组件(200)控制所述片盒固定架(100)的开口端(101)的挡板部(102)启闭；

所述片盒固定架(100)包括晶圆固定架(103)和晶圆端部限位架(104)；

所述晶圆固定架(103)内用于安装待清洗的晶圆，所述挡板部(102)连接在所述晶圆固定架(103)的开口端(101)；

所述晶圆端部限位架(104)连接在所述晶圆固定架(103)与所述开口端(101)相对应的端面；

所述晶圆固定架(103)的内周壁设有第一限位槽(105)和第二限位槽(106)，所述第一限位槽(105)用于固定小尺寸的晶圆，所述第二限位槽(106)用于固定大尺寸的晶圆；

所述晶圆端部限位架(104)包括第一限位部(107)和第二限位部(108)，所述第一限位部(107)与所述第二限位部(108)连接，所述第一限位部(107)设置在所述第一限位槽(105)的端面，所述第二限位部(108)设置在所述第二限位槽(106)的端面。

2.根据权利要求1所述的晶圆防脱落装置，其特征在于，所述挡板部(102)包括第一旋转轴承架(109)、第一挡板(110)、第二旋转轴承架(111)和第二挡板(112)；

所述第一旋转轴承架(109)连接在所述开口端(101)的一侧，所述第一挡板(110)连接在所述第一旋转轴承架(109)上；

所述第二旋转轴承架(111)连接在所述开口端(101)的另一侧，所述第二挡板(112)连接在所述第二旋转轴承架(111)上；

所述第一旋转轴承架(109)、所述第二旋转轴承架(111)分别连接在所述转动组件(200)的两端。

3.根据权利要求2所述的晶圆防脱落装置，其特征在于，所述转动组件(200)包括滑动部(201)、挡板推杆(202)、旋转部(203)、倾斜连接架(204)和片盒限位架(205)；

所述滑动部(201)连接在所述驱动组件(300)的输出端，所述滑动部(201)连接在所述挡板推杆(202)上，所述挡板推杆(202)通过所述旋转部(203)连接在所述倾斜连接架(204)上，所述倾斜连接架(204)连接在所述晶圆固定架(103)上，所述第一旋转轴承架(109)、所述第二旋转轴承架(111)分别与所述旋转部(203)连接；

所述片盒限位架(205)的一端连接所述倾斜连接架(204)，所述片盒限位架(205)的另一端连接在所述驱动组件(300)上。

4.根据权利要求3所述的晶圆防脱落装置，其特征在于，所述滑动部(201)包括滑块(206)、导向轴(207)和滑块限位板(208)；

所述滑块(206)连接在所述驱动组件(300)的输出端，所述滑块(206)连接在所述挡板推杆(202)上；

所述导向轴(207)的数量为两个，两个所述导向轴(207)的外侧端分别固定连接在所述滑块限位板(208)上；在所述滑块(206)的侧面设有限位孔，所述限位孔的数量为两个，两个所述导向轴(207)的内侧端分别滑动连接在两个所述限位孔内。

5.根据权利要求4所述的晶圆防脱落装置，其特征在于，所述旋转部(203)包括第一连杆(209)、第一挡板转臂(210)、第二连杆(211)和第二挡板转臂(212)；

所述第一连杆(209)的外侧端与所述挡板推杆(202)的一端连接，所述第一连杆(209)的内侧端连接所述第一挡板转臂(210)，所述第一挡板转臂(210)与所述第一旋转轴承架(109)连接；

所述第二连杆(211)的外侧端与所述挡板推杆(202)的另一端连接，所述第二连杆(211)的内侧端连接所述第二挡板转臂(212)，所述第二挡板转臂(212)与所述第二旋转轴承架(111)连接。