[发明专利]薄片类介质的粘贴异物检测方法及其装置

权利要求书

1.一种薄片类介质的粘贴异物检测方法，其特征在于，步骤包括：

利用霍尔元件获取待检测的薄片类介质的电压数据；其中，所述电压数据包括所述待检测的薄片类介质所在平面上每一点厚度对应的电压值；

根据所述电压数据和电压厚度转换公式，获取所述待检测的薄片类介质的厚度数据；其中，所述厚度数据包括所述待检测的薄片类介质所在平面上每一点的厚度；

根据所述厚度数据计算所述待检测的薄片类介质的厚度平均值；

将所述待检测的薄片类介质所在平面上厚度大于预设的正常厚度阈值的点作为异常点，并根据连续的多个所述异常点计算所述待检测的薄片类介质的异常区域面积；

计算所述异常区域面积内异常点的厚度与所述厚度平均值之间的误差，并根据所述异常区域面积、所述误差计算异物指数：

其中，Tape为异物指数，K为校准系数，S为异常区域面积，H为误差；

当所述异物指数大于预设的异常阈值时，判定所述薄片类介质存在异物。

2.如权利要求1所述的薄片类介质的粘贴异物检测方法，其特征在于，所述利用霍尔元件获取待检测的薄片类介质的电压数据，具体为：

利用霍尔元件获取待检测的薄片类介质的电压数据：

其中，Z表示电压数据，z_mn表示所述待检测的薄片类介质所在平面上每一点厚度对应的电压值，m表示行数，n表示列数。

3.如权利要求2所述的薄片类介质的粘贴异物检测方法，其特征在于，所述根据所述电压数据和电压厚度转换公式，获取所述待检测的薄片类介质的厚度数据，具体为：

根据所述电压厚度转换公式将所述电压数据转换为厚度数据，所述电压厚度转换公式为：

X＝A(Z-Z⁰)

其中，X为厚度数据，Z为电压数据，A为一个对角矩阵，Z⁰为厚度为零时采集到的数据。

4.如权利要求3所述薄片类介质的粘贴异物检测方法，其特征在于，所述将所述待检测的薄片类介质所在平面上厚度大于预设的正常厚度阈值的点作为异常点，并根据连续的多个所述异常点计算所述待检测的薄片类介质的异常区域面积，具体为：

对所述厚度数据中的每行大于预设的正常厚度阈值的电压值求平均值，得出每行的厚度均值数列：

其中，X_avg为每行的厚度均值数列；

按照行序升序排列，并将所述厚度均值数列中的元素逐一与正常厚度阈值比较，将第一个大于正常厚度阈值的厚度均值作为薄片起始行的厚度值；

按照行序降序排列，并将所述厚度均值数列中的元素逐一与正常厚度阈值比较，将第一个大于正常厚度阈值的厚度均值作为薄片终止行的厚度值；

设定函数：

其中，X_ij表示为所述厚度数据X的矩阵中的元素，i表示行数，j表示列数，thresh为所述正常厚度阈值；

根据所述函数对i进行递减计算，第一个满足所述函数的条件的j值即为第i路的起始位置；并对i进行递减计算，最后一个满足所述函数的条件的j值即为第i路的终止位置；其中，i大于等于2；

根据所述第i路的起始位置、所述第i路的终止位置得到起始行的起始位置和终止位置，以及终止行的起始位置和终止位置；

根据起始行的起始位置和终止位置、终止行的起始位置和终止位置计算出所述待检测的薄片类介质的异常区域面积。

5.如权利要求3所述的薄片类介质的粘贴异物检测方法，其特征在于，所述对角矩阵A具体为：

A＝diag(a₁,a₂...a_m)

其中，a₁、a₂…a_m为对角矩阵A的元素。