[发明专利]一种用于光学系统中光路组件的对准方法

权利要求书

1.一种用于光学系统中光路组件的对准方法，通过对准装置对所述光路组件进行对准，所述光路组件包括：前光路组件和后光路组件，所述对准装置包括：基座，前对准用光学系统，光学组件安装座，后对准用光学系统，以及位移台；

所述前对准用光学系统和后对准用光学系统分别安装在所述基座上，用于对所述前光路组件和后光路组件进行成像；

所述光学组件安装座上设置有所述前光路组件和后光路组件；

所述光学组件安装座设置在所述位移台上，并可随所述位移台运动；

其特征在于，所述对准方法包括步骤：

S1，调整所述前对准用光学系统和后对准用光学系统同轴；

S2，调整所述光学组件安装座使其前端面与所述前对准用光学系统保持垂直，后端面与所述后对准用光学系统保持垂直；

S3，将所述前光路组件和后光路组件分别粗略安装在所述光学组件安装座的前端面和后端面上；

S4，调整位移台以调整所述光学组件安装座，使所述前光路组件和后光路组件的像被所述前对准用光学系统和后对准用光学系统同时观察到；

S5，以观察到的前光路组件和后光路组件的成像的重合情况作为调整依据，调整前光路组件和后光路组件在光学组件安装座上的位置，直至前光路组件和后光路组件达到对准要求；

S6，固定所述前光路组件和后光路组件在所述光学组件安装座上的位置。

2.根据权利要求1所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述步骤S4，调整位移台以调整所述光学组件安装座，使所述前光路组件和后光路组件的像被所述前对准用光学系统和后对准用光学系统同时观察到，具体包括：

S41，调整所述位移台沿左右方向移动，使前对准用光学系统和后对准用光学系统可以同时观察到待对准的前光路组件和后光路组件；

S42，调整所述位移台沿前后方向移动，使前对准用光学系统和后对准用光学系统可以同时观察到清晰的前光路组件和后光路组件成像。

3.根据权利要求1所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述前光路组件为多个，所述前光路组件以阵列形式安装在所述光学组件安装座的前端面上；

所述后光路组件为多个，所述后光路组件以阵列形式安装在所述光学组件安装座的后端面上。

4.根据权利要求3所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述步骤还包括：重复步骤S4至S6直至所述前光路组件和所述后光路组件实现精密对准。

5.根据权利要求3所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述阵列形式为矩形。

6.根据权利要求3所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述阵列形式为圆形。

7.根据权利要求3所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述阵列形式为三角形。

8.根据权利要求3所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述前光路组件和后光路组件上分别设置有条纹图案。

9.根据权利要求1所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述位移台包括：前后水平滑台，上下垂直升降台，以及左右位移台；

所述上下垂直升降台设置在所述前后水平滑台上，所述左右位移台设置在所述上下垂直升降台上；

所述前后水平滑台可实现前后方向的移动；

所述上下垂直升降台可实现上下方向的移动；

所述左右位移台可实现左右方向的移动。

10.根据权利要求1所述的用于光学系统中光路组件的对准方法，其特征在于，所述基座包括第一立柱和第二立柱，所述第一立柱对应设置在所述光学组件安装座的前侧，所述第二立柱对应设置在所述光学组件安装座的后侧。