[发明专利]基板载台

说明书

本发明提供一种基板载台，其包括载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体；这样在基板发生翘曲时，通过抚平构件将基板抚平，从而保证基板整体贴附在载台主体上，解决了基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。

技术领域

本发明涉及显示面板加工领域，尤其涉及一种基板载台。

背景技术

当镀膜基板放置于载台时，如图1所示，由于基板发生翘曲，边缘部分的基板会脱离平台，由于基板翘曲的原因会导致基板无法完全贴附在载台上。

即存在基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。

发明内容

本发明提供一种基板载台，以解决基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明实施例提供一种基板载台，该基板载台包括载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体。

在本发明提供的基板载台中，所述抚平构件包括控制组件和喷气组件，所述控制组件控制喷气组件向弯曲区域喷气。

在本发明提供的基板载台中，所述控制组件包括阀门，用于控制气体是否通过喷气组件喷出。

在本发明提供的基板载台中，所述控制组件包括控制器和阀门，所述控制器用于控制阀门开关。

在本发明提供的基板载台中，所述控制器用于根据基板的弯曲状态控制阀门开关。

在本发明提供的基板载台中，所述控制组件包括距离传感器，所述距离传感器用于确定所述基板的弯曲状态。

在本发明提供的基板载台中，所述喷气组件包括气体产生器、喷嘴与管道，所述气体产生器用于产生气体，所述喷嘴用于将气体喷射到基板上，所述管道用于传输气体。

在本发明提供的基板载台中，所述控制组件的阀门设置在管道上面。

在本发明提供的基板载台中，所述喷嘴对应设置在载台主体的边缘区域。

在本发明提供的基板载台中，其特征在于，所述载台主体上面设置有多个吸附孔，所述喷嘴为呈阵列设置的喷嘴阵列，所述喷嘴阵列的喷嘴与所述吸附孔一一对应。

本发明的有益效果为：本发明提供一种基板载台，其包括载台主体，用于承载基板；抚平构件，用于抚平基板的弯曲区域，使得所述基板贴附所述载台主体；这样在基板发生翘曲时，通过抚平构件将基板抚平，从而保证基板整体贴附在载台主体上，解决了基板弯曲导致基板无法完全贴附在载台上的技术问题。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为基板在载台主体上翘曲的截面示意图。

图2为本发明实施例提供的基板载台的第一种截面示意图。

图3为本发明实施例提供的基板载台的第二种截面示意图。

图4为本发明实施例提供的基板载台的第三种截面示意图。

图5为本发明实施例提供的喷嘴的第一种设置示意图。

图6为本发明实施例提供的喷嘴的第二种设置示意图。

具体实施方式