[发明专利]一种氦液化器流程装置

权利要求书

1.一种氦液化器流程装置，其特征在于，包括：氦气循环压缩机、液氮节流阀、低温换热器组件、第二低温换热器、第一透平膨胀机、第二透平膨胀机、氦气节流阀、液氦杜瓦、低压管路、中压管路、高压管路及液氮管道，所述低温换热器组件包括至少两级低温换热器，所述第一透平膨胀机及第二透平膨胀机依次连接形成二级透平膨胀机；

所述氦气循环压缩机的出口氦气流向所述高压管路输送氦气，经所述高压管路的氦气经过所述低温换热器组件中的一级换热器的液氮预冷以及二级换热器换热，再进入所述二级透平膨胀机中绝热膨胀制冷，从所述二级透平膨胀机中出来的低温氦气回流到所述低压管路中，从所述氦气循环压缩机输出的中压氦气流依次经过所述低温换热器组件及第二低温换热器被回流冷氦气冷却，再经所述氦气节流阀节流产生氦的饱和气液混合物，并进入所述液氦杜瓦，在所述液氦杜瓦产生的气体沿所述低压管路经所述第二低温换热器及低温换热器组件流回所述氦气循环压缩机的低压入口，完成整个循环。

2.如权利要求1所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述低温换热器组件包括五级低温换热器，每级低温换热器依次连接。

3.如权利要求2所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述低温换热器的工作温度为20K以上温区。

4.如权利要求1所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述第二低温换热器的工作温度为20K以下温区。

5.如权利要求4所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述液氮节流阀、低温换热器组件、第二低温换热器、第一透平膨胀机、第二透平膨胀机、及氦气节流阀均固定在真空冷箱中，所述真空冷箱采用多层绝热材料包扎。

6.如权利要求1所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述低温换热器组件中的一级换热器进口处的高压管路和低压管路上布置流量计。

7.如权利要求1所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述低温换热器组件中每一级低温换热器及第二低温换热器进出口之间都设置温度计。

8.如权利要求1所述的氦液化器流程装置，其特征在于，所述第一透平膨胀机及第二透平膨胀机的进出口设置有温度计和压力计。