[发明专利]阵列式太赫兹辐射源及其制造方法

权利要求书

1.一种阵列式太赫兹辐射源，其特征在于，包括衬底和多个第一阵列单元，所述多个第一阵列单元在所述衬底上呈阵列排布，每个所述第一阵列单元包括天线、真空通道层和光阴极，其中：

所述天线包括馈电带和天线臂，所述馈电带和所述天线臂相连，所述馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。

2.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述多个第一阵列单元呈线性阵列排布。

3.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述多个第一阵列单元呈矩形阵列排布。

4.根据权利要求1所述的太赫兹辐射源，其特征在于，每个所述第一阵列单元的天线臂有两个，对称设置在所述馈电带的两侧。

5.根据权利要求4所述的太赫兹辐射源，其特征在于，每个所述天线臂呈梯形或者蝶形。

6.根据权利要求1至5任一项所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述第一阵列单元还包括光波导，所述光波导与所述光阴极基底相贴合，所述光波导与所述光阴极相对的一侧设置挡光层。

7.一种阵列式太赫兹辐射源，其特征在于，包括衬底、多个第二阵列单元和天线臂，所述多个第二阵列单元在所述衬底上呈阵列排布，每个所述第二阵列单元包括馈电带、真空通道层和光阴极，其中：

每个所述第二阵列单元的馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，每个所述第二阵列单元的馈电带与所述天线臂相连，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。

8.根据权利要求7所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述多个第二阵列单元呈线性阵列排布。

9.根据权利要求7所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述多个第二阵列单元呈矩形阵列排布。

10.根据权利要求7所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述第二阵列单元还包括光波导，所述光波导与所述光阴极基底相贴合，所述光波导与所述光阴极相对的一侧设置挡光层。

11.一种阵列式太赫兹辐射源，其特征在于，包括衬底和多个第三阵列单元，所述多个第三阵列单元在所述衬底上呈阵列排布，每个所述第三阵列单元包括多个第四阵列单元和天线臂，所述多个第四阵列单元在所述衬底上呈阵列排布，每个所述第四阵列单元包括馈电带、真空通道层和光阴极，其中：

每个所述第四阵列单元的馈电带和所述天线臂设置在所述衬底上，每个所述第四阵列单元的馈电带与所述天线臂相连，在所述真空通道层设置真空通道，所述真空通道贯穿所述真空通道层，所述馈电带和所述光阴极设置在所述真空通道的两端，所述光阴极、所述真空通道层和所述馈电带之间形成密封腔，在所述光阴极与所述真空通道相对的一侧设置光阴极基底。

12.根据权利要求11所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述多个第三阵列单元呈线性阵列排布或者矩形阵列排布。

13.根据权利要求11所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述多个第四阵列单元呈线性阵列排布或者矩形阵列排布。

14.根据权利要求11至13所述的太赫兹辐射源，其特征在于，所述第四阵列单元还包括光波导，所述光波导与所述光阴极基底相贴合，所述光波导与所述光阴极相对的一侧设置挡光层。