[发明专利]具有可移动平台的微机电装置

说明书

本发明公开一种具有可移动平台的微机电装置，包含基板、至少一固定座、平台、感测芯片以及至少一弹性元件。固定座设置于基板上。平台包含至少一电极与至少一导电连接层。感测芯片设置于平台上并且包含至少一电性互连元件，电性互连元件连接于平台的导电连接层。弹性元件连接平台与至少一固定座，其包含至少一第一电性通道、第二电性通道以及电性绝缘层。第一电性通道用以传递感测芯片产生的第一电性信号。电性绝缘层设置于第一电性通道及第二电性通道之间。第一电性通道电连接于电性互连元件，且第二电性通道电连接于电极。

技术领域

本发明涉及一种微机电装置，特别是涉及一种包含可移动平台的微机电装置。

背景技术

以微机电技术为基础的装置具有体积小、重量轻、成本低等优点，在许多领域都有着迫切的应用需求和广泛的应用前景。

目前，在摄像技术的领域中，为了解决相机抖动造成拍摄影像模糊的问题，已陆续引入相机的防手震技术。防手震技术包含光学防手震(OIS)与电子防手震(EIS)。其中，使用微机电平台搭载感光元件，并通过微机电平台的位移来补偿相机的偏移，以维持影像的清晰度。

感光元件(例如影像感测芯片)与微机电平台整合，并且以打线接合方式将信号传输线连接至感光元件与电路板，而使感光元件产生的影像信号能通过信号传输线传输至电路板。然而，由于信号传输线在微机电平台移动的过程中可能会扯断或脱离，导致采用打线接合方式设置信号传输线会有可靠度的疑虑。

发明内容

鉴于以上的问题，本发明揭露一种具有可移动平台的微机电装置，有助于解决信号传输线容易扯断或脱离的问题。

本发明所揭露的具有可移动平台的微机电装置包含一基板、至少一固定座、一平台、一感测芯片以及至少一弹性元件。固定座设置于基板上。平台包含至少一电极与至少一导电连接层。感测芯片设置于平台上并且包含至少一电性互连元件，电性互连元件连接于平台的导电连接层。弹性元件连接平台与至少一固定座，其包含至少一第一电性通道、一第二电性通道以及一电性绝缘层。第一电性通道用以传递感测芯片产生的第一电性信号。电性绝缘层设置于第一电性通道及第二电性通道之间。第一电性通道电连接于电性互连元件，且第二电性通道电连接于电极。

根据本发明所揭露的具有可移动平台的微机电装置，感测芯片的电性互连元件连接于平台的导电连接层。此外，弹性元件的第一电性通道电连接于电性互连元件，并且第二电性通道电连接于平台的电极。第一电性通道用于传递感测芯片产生的感测信号，且第二电性通道用以传输电荷，以使电极产生静电力。由此，在平台运动时，电性互连元件与平台之间没有相对运动关系，而有助于避免感测出模糊的影像且避免因为电性互连元件被拉扯而断开。

以上的关于本发明的说明及以下的实施方式的说明用以示范与解释本发明的精神与原理，并且提供本发明的权利要求更进一步的解释。

附图说明

图1为本发明第一实施例的具有可移动平台的微机电装置的上视示意图；

图2为图1的具有可移动平台的微机电装置沿线A-A的剖切示意图；

图3A和图3B为图2的具有可移动平台的微机电装置的局部放大示意图；

图4A和图4B为图2的具有可移动平台的微机电装置的另一局部放大示意图；

图5为本发明第二实施例的具有可移动平台的微机电装置的剖切示意图；

图6为本发明第三实施例的具有可移动平台的微机电装置的剖切示意图；

图7为图6的具有可移动平台的微机电装置的局部放大示意图；

图8为本发明第四实施例的具有可移动平台的微机电装置的剖切示意图。

符号说明

1、1a、1b、1c    具有可移动平台的微机电装置