[发明专利]多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备在审
| 申请号： | 201811623607.X | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109485250A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 沈小平;崔德运;朱陈明;谈悠濡;杨意;马逸聪;何炳;蒋锡华;朱坤 | 申请（专利权）人： | 江苏通鼎光棒有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 | 代理人： | 陈瑞泷;马刚强 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷灯 疏松体 沉积 芯棒 最大限度减少 并排设置 沉积设备 预制棒 报废 硅源气体 弧形设置 颗粒生长 喷吹燃料 芯棒表面 有效长度 锗源气体 助燃气体 纵向排布 全覆盖 外包层 喷吹 轴向 喷射 申请 | ||
1.一种多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，包括：
沉积箱外壳，内具有腔体；
夹具(2)，位于腔体内，用于夹持固定预制棒疏松体或者芯棒(3)，并能够在驱动装置的驱动下带动预制棒疏松体或者芯棒(3)转动；
喷灯安装架(9)，位于腔体内；
喷灯(4)，设置在喷灯安装架(9)上，所述喷灯(4)包括横向排布和纵向排布的多个，横向排布为沿所述棒疏松体或者芯棒(3)的中轴线平行排布，纵向排布为垂直于所述棒疏松体或者芯棒(3)的中轴线排布，每列纵向排布的所述喷灯(4)呈弧形排布，所述喷灯(4)具有以下两种工作方式，工作方式一：喷吹燃料与助燃气体与硅源气体或者锗源气体，工作方式二：仅喷吹燃料与助燃气体；
尾灯(5)，位于喷灯安装架(9)的两侧，能够喷吹燃料与助燃气体；
抽风系统(1)，用于抽走腔体内的气体，保持腔体内为负压环境。
2.根据权利要求1所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，每一排横向排布的所述喷灯(4)均能够分别做升降运动。
3.根据权利要求1或2所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，每个喷灯(4)的喷射口均朝向预制棒疏松体或者芯棒(3)的中轴线。
4.根据权利要求1-3任一项所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，每列纵向排布的所述喷灯(4)为5个，每一排横向排布的喷灯数量为8-10个。
5.根据权利要求4所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，5个所述喷灯(4)中喷灯(4)喷头的中轴线与铅垂线的夹角分别为[45°，75°]、[30°，50°]、[0°，10°]、[30°，50°]、[45°，75°]。
6.根据权利要求1-5任一项所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，所述夹具(2)设置有重量反馈系统，用于对预制棒疏松体或者芯棒(3)进行称量并进行终点控制。
7.根据权利要求1-6任一项所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，预制棒疏松体或者芯棒的直径大于100-120mm时，部分喷灯(4)以工作方式二进行工作。
8.根据权利要求7所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，每列纵向排布的所述喷灯(4)为5个时，位于中间两侧的喷灯(4)以工作方式二进行工作，其余喷灯(4)以工作方式一进行工作。
9.根据权利要求1-8任一项所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，所述喷灯安装架(9)还能沿预制棒疏松体或者芯棒(3)的轴向运动。
10.根据权利要求1-9任一项所述的多喷灯、大尺寸、高沉积速率的OVD沉积设备，其特征在于，所述夹具(2)、喷灯安装架(9)、喷灯(4)和尾灯(5)为并列设置的多组。
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