[发明专利]一种砷化镓抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201811626441.7 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109705737A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 伊观兰 | 申请（专利权）人： | 天津洙诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 301800 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光液 砷化镓 制备 磨料 表面活性剂 超光滑加工 超声分散 分散性能 干燥结晶 去离子水 水分蒸发 原料制备 保湿剂 低损伤 低应力 重量份 螯合剂 挥发 保证 成功 | ||
1.一种砷化镓抛光液，其特征在于，由以下重量份的原料制备而成：磨料20～40份、表面活性剂3～7份、螯合剂1～3份、PH值调节剂1～6份、保湿剂1～3份、去离子水30～50份。
2.根据权利要求1所述的砷化镓抛光液，其特征在于，由以下重量份的原料制备而成：磨料25～35份、表面活性剂4～6份、螯合剂1～3份、PH值调节剂2～5份、保湿剂1～3份、去离子水35～45份。
3.根据权利要求1所述的种砷化镓抛光液，其特征在于，由以下重量份的原料制备而成：磨料30份、表面活性剂5份、螯合剂2份、PH值调节剂3份、保湿剂2份、去离子水40份。
4.根据权利要求1所述的砷化镓抛光液，其特征在于，所述的保湿剂为聚乙烯醇或羟乙基纤维素。
5.根据权利要求1所述的砷化镓抛光液，其特征在于，所述的磨料为粒径范围为90～150nm的水溶硅溶胶。
6.根据权利要求1所述的砷化镓抛光液，其特征在于，所述的表面活性剂为脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基醇酰胺。
7.根据权利要求1所述的砷化镓抛光液，其特征在于，所述的PH值调节剂为氢氧化钾或氢氧化钠。
8.根据权利要求1所述的砷化镓抛光液，其特征在于，所述螯合剂为乙二胺四乙酸。
9.根据权利要求1～8任一所述的砷化镓抛光液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1，称取一定重量份数的磨料、表面活性剂、螯合、PH值调节剂、保湿剂、去离子水；
S2，将上述原料投入到搅拌器中，以600～800rpm的速度搅拌，搅拌时间为0.5～2小时；
S3，将步骤S2所得溶液投入至超声波分散仪，在20kHz～40kHz的超声波频率下分散0.5～1小时；
S4，将经过超声分散后的溶液投入至搅拌器中，以800～1000rpm的速度搅拌，搅拌时间为0.5～2小时，即得。
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