[发明专利]像素阵列版图的制作方法及像素阵列的制作方法有效
申请号: | 201811627103.5 | 申请日: | 2018-12-28 |
公开(公告)号: | CN109698212B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 李艳丽;伍强;杨渝书;朱鸣 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑星 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 像素 阵列 版图 制作方法 | ||
本发明提供了一种像素阵列版图的制作方法和一种像素阵列的制作方法,通过减小原始周期性像素阵列版图的某一区域内的多个像素单元的面积来实现像素单元在平面空间上的随机分布/近似随机分布,且通过进一步对所述选取的区域内的所述感光单元的形状进行调整,以使同一所述像素单元的各所述感光单元所占面积比例不变,或按各所述感光单元的面积改变的比例调整与各所述感光单元对应的所述电容单元的面积,以形成目标像素阵列版图。由于形成的所述目标像素阵列版图的周期性遭到了破环,因此通过所述目标像素阵列版图形成目标像素阵列,并通过所述目标像素阵列形成图像传感器来对周期性图像进行成像时会降低莫尔条纹甚至消除莫尔条纹。
技术领域
本发明涉及图像传感器技术领域,特别涉及一种像素阵列版图的制作方法及一种像素阵列的制作方法。
背景技术
图像传感器是将光信号转换为电信号的装置,在数字电视、可视通信、摄影市场中有着广泛的应用。根据光电转换方式的不同,图像传感器通常可以分为电荷耦合器件图像传感器(Charge-coupled Device,CCD)和互补性金属氧化物半导体图像传感器(CmosImage Sensor,CIS)两类。
图像传感器的像素单元是图像传感器实现感光的核心器件,对于以上两种图像传感器,成像单元一般以周期性矩形阵列形式排布,其虽然有制作工艺简单的优点,却存在拍摄周期性阵列图形的困难,具体表现在图像中出现的莫尔条纹(Moire Fringes)会严重干扰对图像细节的辨识。
莫尔条纹的产生根源是两个周期性的网格叠加导致在较长周期上格点发生重合。如音频中两种音调(频率)比较靠近的音源互相干涉导致的拍频(Beat Frequency)。不像人造的CCD或者CIS,人和哺乳动物的视网膜细胞在像平面上是呈随机分布的,故人或者动物的眼睛看周期性的图形是不会出现周期性的莫尔条纹的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种像素阵列版图的制作方法及一种像素阵列的制作方法,以解决使用现有图像传感器对周期性图像进行成像时会产生莫尔条纹的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供一种像素阵列版图的制作方法,包括:
提供一原始周期性像素阵列版图,所述原始周期性像素阵列版图包括多个相互隔离的像素单元,每个所述像素单元包括四个感光单元和与各所述感光单元相对应的电容单元;
在所述原始周期性像素阵列版图上选取一区域,在选取的区域内选取多个像素单元并减小选取的所述像素单元的面积;
对所述选取的区域内的所述感光单元的形状进行调整,以使同一所述像素单元的各所述感光单元所占面积比例不变,或计算与所述原始周期性像素阵列版图相比所述选取的区域内的各所述感光单元的面积减小的比例,并按计算得到的各所述感光单元的面积减小的比例调整与各所述感光单元对应的电容单元的面积,以形成目标像素阵列版图。
可选地,在所述的像素阵列版图的制作方法中,减小选取的所述像素单元的面积包括:
沿着选取的所述像素单元的第一边的垂线方向压缩选取的所述像素单元,使选取的所述像素单元中与所述第一边相邻的的第二边及第三边缩短,以使选取的所述像素单元的面积减小;或
朝着选取的所述像素单元的中心的方向收缩选取的所述像素单元的一个角,以使选取的所述像素单元的面积减小。
可选地,在所述的像素阵列版图的制作方法中,减小选取的所述像素单元的面积包括:
对选取的所述像素单元的一部分进行遮挡,以使选取的所述像素单元的面积减小,所述遮挡部分沿着选取的所述像素单元的一条边布置,和/或沿着选取的所述像素单元一个角布置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的