[发明专利]靶材的制作方法在审
| 申请号： | 201811629642.2 | 申请日： | 2018-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN111375881A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K31/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制作方法 | ||
1.一种靶材的制作方法，其特征在于，包括：
将靶坯与背板焊接，形成靶材；
对所述靶材进行分段式降温。
2.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述靶材分两段降温。
3.如权利要求2所述制作方法，其特征在于，所述靶材温度为700℃-1800℃时，所述靶材的降温速率控制在0.5℃/min-1℃/min；所述靶材温度为100℃-700℃时，所述靶材的降温速率控制在0.8℃/min-3℃/min。
4.如权利要求2所述制作方法，其特征在于，所述靶材温度为400℃-1800℃时，所述靶材的降温速率控制在0.5℃/min-1.2℃/min；所述靶材温度为100℃-400℃时，所述靶材的降温速率控制在1℃/min-3℃/min。
5.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述靶材分三段降温。
6.如权利要求5所述制作方法，其特征在于，所述靶材温度为700℃-1800℃时，所述靶材的降温速率控制在0.5℃/min-1℃/min；所述靶材温度为400℃-700℃时，所述靶材的降温速率控制在0.8℃/min-1.2℃/min；所述靶材温度为100℃-400℃时，所述靶材的降温速率控制在1℃/min-3℃/min。
7.如权利要求5所述制作方法，其特征在于，所述靶材温度为400℃-1800℃时，所述靶材的降温速率控制在0.5℃/min-1.2℃/min；所述靶材温度为200℃-400℃时，所述靶材的降温速率控制在1℃/min-1.5℃/min；所述靶材温度为100℃-200℃时，所述靶材的降温速率控制在1.5℃/min-3℃/min。
8.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述靶材分四段降温：所述靶材温度为700℃-1800℃时，所述靶材的降温速率控制在0.5℃/min-1℃/min；所述靶材温度为400℃-700℃时，所述靶材的降温速率控制在0.8℃/min-1.2℃/min；所述靶材温度为200℃-400℃时，所述靶材的降温速率控制在1℃/min-1.5℃/min；所述靶材温度为100℃-200℃时，所述靶材的降温速率控制在1.5℃/min-3℃/min。
9.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，所述靶坯以及所述背板通过热等静压工艺焊接。
10.如权利要求1所述制作方法，其特征在于，控制所述靶坯与背板的温度达到预设温度，进行回收气体工艺。
11.如权利要求10所述制作方法，其特征在于，所述预设温度为100℃-200℃。
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