[发明专利]一种鳍型场效应管

权利要求书

1.一种鳍型场效应管，其特征在于，包括：

衬底、位于所述衬底上的缓冲层和位于所述缓冲层上的势垒层；

位于所述势垒层上的源极、漏极和栅极，所述栅极位于所述源极和漏极之间；

所述势垒层包括平行且间隔设置的多个鳍，所述鳍位于所述源极与漏极之间的区域且与所述栅极垂直；

所述鳍的宽度(单位nm)为a1、a2、a3、a4、...、an，所述宽度为a1的鳍的数量为b1，所述宽度为a2的鳍的数量为b2，所述宽度为a3的鳍的数量为b3，依此类推，所述宽度为an的鳍的数量为bn，其中，a1、a2、a3、a4、...、an为10-200之间的任意整数，b1、b2、b3、b4、...、bn为任意正整数。

2.根据权利要求1所述的鳍型场效应管,其特征在于，所述栅极包围所述鳍的顶面以及相对的两个侧面。

3.根据权利要求1所述的鳍型场效应管,其特征在于，所述鳍之间设有凹槽，所述栅极横跨所有的凹槽和鳍。

4.根据权利要求3所述的鳍型场效应管,其特征在于，所述栅极位于所述凹槽内的部分与所述缓冲层相接触。

5.根据权利要求1所述的鳍型场效应管,其特征在于，所述a1、a2、a3、a4、...、满足等差数列,即an＝a1+d(n-1),其中，d为5-60之间的任意整数。

6.根据权利要求1所述的鳍型场效应管,其特征在于，根据以下的函数来计算每种宽度的鳍的数目比例：

o(V)＝[c1·f₁(V)+c2·f₂(V)+…+cn·f_n(V)]²

其中，c1为a1宽度鳍占据总共鳍个数的比例系数，即c1＝b1/(b1+b2+…+bn)，c2为a2宽度鳍的比例系数，即c2＝b2/(b1+b2+…+bn)、cn为an宽度鳍的比例系数，即cn＝bn/(b1+b2+…+bn)。o(V)为用来计算比例系数的目标优化函数，f₁(V)为鳍宽a1的场效应管的跨导的一阶导数，f₂(V)为鳍宽a2的场效应管的跨导的一阶导数，f_n(V)为鳍宽an的场效应管的跨导的一阶导数。

7.根据权利要求6所述的鳍型场效应管,其特征在于，所述f₁(V)＝dg₁/dV,f₂(V)＝dg₂/dV,…,f_n(V)＝dg_n/dV，所述g₁(V),g₂(V),…,g_n(V)分别为鳍宽度为a1,a2,…,an的场效应管的跨导，V为栅极电压。

8.根据权利要求7所述的鳍型场效应管,其特征在于，所述g₁(V),g₂(V),…,g_n(V)的可用栅极电压范围分别是：(V_min1，V_max1),(V_min2，V_max2),…,(V_minn，V_maxn)，可用栅极电压范围内，对应的跨导达到最大值，且跨导的波动范围小于比例m％。