[发明专利]晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法

权利要求书

1.一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤一、获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；

步骤二、根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；

步骤三、根据各步的所述预计作业时间计算各步的预计结束时间；

步骤四、计算预计的纯DPML，根据所述在线产品批次的类型计算归一化系数；

所述归一化系数为所需要的DPML除以所述纯DPML；

DPML是算上工程时间后计算的每个光罩层用的时间；

纯DPML是排除工程时间计算的每个光罩层用的时间；

步骤五、采用所述归一化系数对各步的所述预计作业时间进行归一化处理并形成各步对应的归一化预计作业时间；

步骤六、更新各所述在线产品批次的各步的预计工程时间；

步骤七、根据所述预计工程时间计算各所述在线产品批次的各步的预计作业总时间，所述预计作业总时间为所述预计工程时间加所述归一化预计作业时间，根据所述预计作业总时间调整各步的所述预计结束时间并形成调整后预计结束时间；

步骤八、获取所要监控的所述在线产品批次的已经结束的各步的实际作业相关时间，所述实际作业相关时间包括实际结束时间、实际作业时间和实际工程时间；

步骤九、计算所要监控的所述在线产品批次的已跑过的各步的延迟时间，延迟时间包括工程延迟时间、作业延迟时间、步延迟和总延迟；

所述工程延迟时间为所述实际工程时间减去所述预计工程时间；

所述作业延迟时间为所述实际作业时间减去所述归一化预计作业时间；

所述步延迟为所述工程延迟时间加上所述作业延迟时间；

所述总延迟为对应步的实际结束时间减去所述调整后预计结束时间；

步骤十、获取需去除延迟时间的所述在线产品批次的各步的信息，根据步骤九计算的延迟时间计算在所述在线产品批次的各步中需要扣除的扣除延迟时间，所述扣除延迟时间为负值；

步骤十一、结合所述扣除延迟时间，计算所述在线产品批次的各步的含延迟预计结束时间，实现对所述在线产品批次的跑货的预测；

当前步对应的所述含延迟预计结束时间为前一步的结束时间加上当前步的含延迟预计作业总时间；

当前步对应的所述含延迟预计作业总时间为所述预计作业总时间加所述扣除延迟时间。

2.如权利要求1所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于：步骤二中是根据同技术平台的历史跑货状况来更新各步预计作业时间。

3.如权利要求2所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于：步骤二中是根据同技术平台的过去一年的历史跑货状况来更新各步预计作业时间。

4.如权利要求1所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，还包括步骤：

步骤十二、对于具有指定交期的所述在线产品批次，根据交期时间计算DPML，并根据DPML对所述在线产品批次的所述含延迟预计作业总时间进行调整。

5.如权利要求4所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，还包括步骤：

步骤十三、对于具有新光罩进厂的所述在线产品批次，需结合所述新光罩进厂产生的延迟时间，更新各步时间。

6.如权利要求5所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，还包括步骤：

步骤十四、在对所述在线产品批次的跑货过程中的各步时间的预测的基础上，对未来的跑货阻碍站点进行预测，包括如下分步骤：

步骤141、根据对所述在线产品批次的跑货的预测，获得未来时间段内需要经过的站点；

步骤142、根据所述历史跑货状况且按照等待时间的大小找出生产线上前几天内的等待时间较长的几个站点；

步骤143、在步骤141中所获得的各站点中提取出具有步骤142中出现的站点以及提取出未来需特殊处理的站点，所述未来需特殊处理的站点为还没有经过但已经设置为保持状态的站点；

步骤144、将步骤143中所提取的站点作为所述未来时间段内的跑货阻碍站点。