[发明专利]一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器

权利要求书

1.一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，包含：主加热器层、子加热器层、附加子加热器层；

所述主加热器层设有多个主加热区；

所述子加热器层设置在主加热器层的上方，且所述子加热器层设有多个子加热区，与至少一部分主加热区叠加；被叠加的每一个所述主加热区上方的空间，被划分为若干子空间，每个子空间分别有对应的子加热区；

所述附加子加热器层设置在子加热器层的上方，且所述附加子加热器层设有多个附加加热区；每个所述附加加热区与一个或多个所述子加热区错位叠加，使得每个所述附加加热区和与之错位叠加的每个子加热区的纵向投影不完全重合，其中所述主加热区、子加热区和附加加热区都具有独立的加热功率输入口，使得加热功率独立可调。

2.如权利要求1所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，所述主加热器层包含同圆心的多个主加热圈；

所述子加热器层包含同圆心的多个子加热圈，叠加在至少一些主加热圈上方，使得每个子加热圈和与之叠加的每个主加热圈的纵向投影重合；或者，多个子加热圈错位叠加在至少一些主加热圈上方，使得每个子加热圈和与之错位叠加的每个主加热圈的纵向投影不完全重合。

3.如权利要求2所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，每个所述主加热圈布置一个主加热区；每个所述子加热圈布置多个扇形的子加热区。

4.如权利要求2所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，所述子加热圈在径向相互隔开；所述子加热器层包含若干非加热圈，与所述子加热圈同圆心设置，将相邻的所述子加热圈隔开。

5.如权利要求3所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，所述附加子加热器层包含多个扇形区，各自从附加子加热器层的圆心开始沿径向延伸，且在每个扇形区布置1个附加加热区，每个附加加热区径向穿过若干个子加热圈的上方，并与被穿过的至少一个子加热圈中的每个子加热区错位叠加。

6.如权利要求5所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，所述附加子加热器层的每个附加加热区，从附加子加热器层的圆心延伸到边缘，径向穿过子加热器层所有加热圈的上方；每个附加加热区与被其穿过的至少一个子加热圈中的两个相邻的子加热区对应，使这两个相邻的子加热区的边界线处在该附加加热区的投影范围内。

7.如权利要求1所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，所述不完全重合，包含：上方的附加加热区的投影落在下方与之对应的子加热区的范围内，或者上方的附加加热区的投影超出下方与之对应的子加热区的范围，或者上方的附加加热区的投影和下方与之对应的子加热区的范围部分重叠，或者上方的附加加热区的投影落在下方相邻的多个子加热区合计的范围内，或者上方的附加加热区的投影超出下方相邻的多个子加热区合计的范围，或者上方的附加加热区的投影和下方相邻的多个子加热区合计的范围部分重叠。

8.如权利要求2所述的一种用于组装ESC的多平面多路可调节温度的加热器，其特征在于，所述主加热器层设有N个主加热区，每一主加热区分别设置有加热器；所述子加热器层设有X个子加热区，每一子加热区分别设置有加热器；通过N个主加热区和X个子加热区的叠加，形成的可控温区大于X个；所述附加子加热器层设有Y个附加加热区，每一附加加热区分别设置有加热器；所述附加子加热器层的任意一个扇形区与子加热器层的子加热区重叠时，至少一个子加热器层的扇形区与多个附加子加热器层的扇形区重叠，在重叠的部分产生新的可控温区，在附加子加热器层产生的可控温区总数量大于N+X+Y个。