[发明专利]一种薄膜开孔方法、太阳能电池封装膜及开孔方法在审
| 申请号： | 201811632116.1 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111438447A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 樊成源;朱瑞 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/382 | 分类号： | B23K26/382;H01L31/0203;H01L31/048 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 102200 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 方法 太阳能电池 封装 | ||
1.一种薄膜开孔方法，其特征在于，包括：
根据目标开孔尺寸设置激光脉冲在待开孔薄膜上形成的光斑的尺寸，其中，所述光斑为均匀光斑；
根据所述待开孔薄膜的材料类型确定单次激光脉冲的能量，所述单次激光脉冲包括至少一个激光单脉冲；
根据所述单次激光脉冲的能量，确定在所述待开孔薄膜上利用所述激光脉冲打孔形成所述目标开孔的打孔次数，其中，所述打孔次数至少为两次；
根据所述单次激光脉冲的预设时间间隔和确定的所述打孔次数对所述待开孔薄膜打孔。
2.根据权利要求1所述的薄膜开孔方法，其特征在于，根据所述待开孔薄膜的材料类型确定单次激光脉冲的能量为：所述单次激光脉冲的能量小于等于所述待开孔薄膜的材料在被一次激光脉冲照射过程中不产生焦化的极限能量值。
3.根据权利要求1所述的薄膜开孔方法，所述单次激光脉冲的能量值等于所述单次激光脉冲中包括的所述激光单脉冲的数量与所述激光单脉冲的能量的乘积。
4.根据权利要求1所述的薄膜开孔方法，所述根据所述单次激光脉冲的能量，确定在所述待开孔薄膜上利用所述激光脉冲打孔形成所述目标开孔的打孔次数为：根据所述目标开孔的深度和所述单次激光脉冲在所述待开孔薄膜上的打孔的深度计算得到，或者
根据在所述待开孔薄膜上形成所述目标开孔所需要的激光能量总值与所述单次激光脉冲的能量值计算得到。
5.根据权利要求1所述的薄膜开孔方法，其特征在于，所述预设时间间隔大于等于预设的固定值，并且，所述预设的固定值大于相邻的所述激光单脉冲之间的时间间隔。
6.根据权利要求1所述的薄膜开孔方法，其特征在于，当在所述待开孔薄膜上形成多个所述目标开孔时，先对部分或全部所述目标开孔所对应的所述待开孔薄膜上的位置施加第一次所述单次激光脉冲，再对所述部分或全部所述目标开孔所对应的所述待开孔薄膜上的位置施加第二次所述单次激光脉冲，依次进行，直至所述部分或全部所述目标开孔形成。
7.根据权利要求1-6任一项所述的薄膜开孔方法，其特征在于，所述均匀光斑为平顶光斑。
8.根据权利要求1-6任一项所述的薄膜开孔方法，其特征在于，所述均匀光斑利用衍射光学元件获得。
9.一种太阳能电池封装膜的开孔方法，其特征在于，包括利用权利要求1-8任一项所述的薄膜开孔方法，在所述太阳能电池封装膜上形成开孔。
10.一种太阳能电池封装膜，包括开孔，其特征在于，所述开孔采用权利要求1-8任一项所述的薄膜开孔方法形成。
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