[发明专利]一种防着板

说明书

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀工艺中的防着板。在不改动设备内部结构的基础上，通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜，所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。多孔结构有利于吸附有机材料或金属材料，使得材料不容易脱落，并且聚酰亚胺塑料膜还具有耐高温的性能，还可以承受一定的高温，有效避免防着板长期的拆除与安装。并且当材料在塑料薄膜上达到一定量时，只要小心撕下这层薄膜就可以，不仅可以节约时间，还可以节省人力成本。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种用于蒸镀工艺中的防着板。

背景技术

制备OLED薄膜会采用真空蒸镀技术，即在高真空环境下，加热有机材料或金属材料，使其受热后蒸发出来，透过具有图案的金属研磨板，沉积在基板的表面形成单层薄膜，经过连续的沉积成膜就形成多层薄膜的OLED器件结构。

然而在高真空蒸镀过程中，材料不仅会沉积在基板上，而且还会飘散到腔体的其它位置，造成腔体的污染。因此，为了避免材料对腔体的污染，会在腔体附上一层防着板，起到保护作用，但是日积月累，当材料达到一定的量，就会从防着板上掉落，造成腔体的污染，因此，需要更换防着板。然而更换防着板是一件繁杂、艰苦的工程，不仅需要耗费许多时间，而且还需要人力的支持。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种可长期使用但无需更换的防着板。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：

一种防着板，设置在有机蒸镀腔体的侧壁内表面上，所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜，所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。

进一步的，所述防着板上设有安装孔，所述聚酰亚胺塑料膜上设有与所述安装孔对应设置的通孔，螺丝依次穿过所述通孔和安装孔与有机蒸镀腔体的侧壁固定连接。

进一步的，所述多孔结构中的孔结构为盲孔。

进一步的，所述多孔结构中的孔结构为直通孔，所述直通孔的内侧壁上涂覆有磁粉。

进一步的，所述多孔结构中的孔结构为螺纹孔。

进一步的，所述螺纹孔的内侧壁上涂覆有黏胶层。

本发明的有益效果在于：

本发明提供的防着板，在不改动设备内部结构的基础上，通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜，所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。多孔结构有利于吸附有机材料或金属材料，使得材料不容易脱落，并且聚酰亚胺塑料膜还具有耐高温的性能，还可以承受一定的高温，有效避免防着板长期的拆除与安装。并且当材料在塑料薄膜上达到一定量时，只要小心撕下这层薄膜就可以，不仅可以节约时间，还可以节省人力成本。

附图说明

图1为本发明的防着板的结构示意图；

图2为本发明的聚酰亚胺塑料膜的实施例一的结构示意图；

图3为本发明的聚酰亚胺塑料膜的实施例二的结构示意图；

图4为本发明的聚酰亚胺塑料膜的实施例三的结构示意图；

标号说明：

1、有机蒸镀腔体；2、防着板；3、聚酰亚胺塑料膜；31、盲孔；32、直通孔；321、磁粉；33、螺纹孔。

具体实施方式

为详细说明本发明的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。

本发明最关键的构思在于：通过在所述防着板的表面上包裹有聚酰亚胺塑料膜，所述聚酰亚胺塑料膜上具有用于附着有机材料或金属材料的多孔结构。