[发明专利]一种双向热电堆式薄膜热流计及热流测量方法

权利要求书

1.一种双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，所述热流计溅射或贴合于被测面进行热流检测，所述热流计与所述被测面接近的面为感热面，与所述感热面相对的面为开放面；所述热流计包括热电偶、第一热阻层和第二热阻层，所述热电偶包括冷端和热端，所述冷端和所述热端并排设置，所述冷端的感热面设置所述第一热阻层，所述冷端的开放面设置所述第二热阻层，所述热端的感热面设置所述第二热阻层，所述热端的开放面设置所述第一热阻层。

2.根据权利要求1所述的双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，所述第一热阻层和所述第二热阻层的厚度相等。

3.根据权利要求1所述的双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，所述冷端和所述热端位于同一物理层高度。

4.根据权利要求1所述的双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，所述热电偶为薄膜热电偶。

5.根据权利要求1所述的双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，所述第一热阻层和所述第二热阻层的导热系数不同。

6.根据权利要求1所述的双向热电堆式薄膜热流计，其特征在于，热电堆式薄膜热流计包括多个热电偶，所述多个热电偶串联。

7.一种基于双向热电堆式薄膜热流计的热流测量方法，其特征在于，所述方法包括：

确定所述薄膜热流计的测头系数ξ；

测量所述薄膜热流计输出的电压信号f(E)；

根据公式q＝ξf(E)计算待测物体表面的热流密度q。

8.根据权利要求7所述的基于双向热电堆式薄膜热流计的热流测量方法，其特征在于，所述测头系数其中λ₁为第一热阻层的导热系数，λ₂为第二热阻层的导热系数，所述第一热阻层和所述第二热阻层的厚度均为δ。