[发明专利]一种小型化高效率绿光晶体转换模块

权利要求书

1.一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：包括横向设置的基底（1）、激光晶体波导器件（2）、非线性频率转换晶体波导器件（3）和金属盖体（4）；所述激光晶体波导器件（2）和非线性频率转换晶体波导器件（3）分别采用低温焊接的方式固定在基底（1）上端两侧；所述金属盖体（4）包覆在激光晶体波导器件（2）和非线性频率转换晶体波导器件（3）外并与基底（1）固定连接，激光晶体波导器件（2）进光侧的金属盖体（4）上开设有进光口（40），非线性频率转换晶体波导器件（3）出光侧的金属盖体（4）上开设有出光口（41）；所述激光晶体波导器件（2）和非线性频率转换晶体波导器件（3）光路连接，半导体激光器（5）输出的泵浦光经激光晶体波导器件（2）的增益作用和非线性频率转换晶体波导器件（3）的倍频作用后输出绿光。

2.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）中的激光晶体材料为掺钕钒酸钇、掺钕钇铝石榴石晶体或掺钕氟化钇锂中的任意一种。

3.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述非线性频率转换晶体波导器件（3）中的转换晶体材料为周期极化晶体、三硼酸锂晶体、偏硼酸钡晶体或磷酸氧钛钾中的任意一种。

4.如权利要求3所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述周期极化晶体为周期性极化掺镁铌酸锂、周期性极化磷酸氧钛钾、周期性极化钽酸锂晶体、周期性极化锗酸硼锂或周期性极化砷酸钛氧铷中的任意一种；所述周期极化晶体结构为单周期、多周期、啁啾或级联中的任意一种。

5.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）和非线性频率转换晶体波导器件（3）的波导结构均为脊形波导、掩埋波导或平板波导中的任意一种。

6.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）的进光侧和出光侧经光学级抛光后分别镀有第一镀膜层（20）和第二镀膜层（21）；所述第一镀膜层（20）对808nm的光增透、对1064nm和532nm的光高反；所述第二镀膜层（21）对1064nm和532nm的光增透；所述非线性频率转换晶体波导器件（3）的进光侧和出光侧经光学级抛光后分别镀有第三镀膜层（30）和第四镀膜层（31）；所述第三镀膜层（30）对1064nm的光增透、对532nm的光高反；所述第四镀膜层（31）对1064nm的光高反、对532nm的光增透。

7.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）上表面固定有第一SiO2层（22）；所述非线性频率转换晶体波导器件（3）上表面固定有第二SiO2层（32）。

8.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）和非线性频率转换晶体波导器件（3）下端均通过由Cr和Au交替焊接形成的金属焊接层（6）焊接固定在基底（1）上。

9.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）和非线性频率转换晶体波导器件（3）的厚度为0.1mm~1mm。

10.如权利要求1所述的一种小型化高效率绿光晶体转换模块，其特征在于：所述激光晶体波导器件（2）的出光侧与非线性频率转换晶体波导器件（3）的进光侧的间隔为1mm~8mm。