[发明专利]一种软X射线光源

权利要求书

1.一种软X射线光源，所述软X射线光源包括真空靶室、制冷腔和喷嘴，所述制冷腔和所述喷嘴容置于所述真空靶室内，所述喷嘴设置于所述制冷腔上，其特征在于，所述真空靶室包括：

三通管，所述三通管具有相对的第一出口、第二出口以及位于所述第一出口和所述第二出口之间的第三出口，所述第一出口与支撑板连接，制冷剂入口管道、制冷剂出口管道以及工作气体管道分别穿过所述支撑板并与所述制冷腔连接，所述第三出口与抽真空装置连接；以及

多通管，所述多通管包括相对的顶部开口、底部开口以及位于所述顶部开口与所述底部开口之间的若干个侧面开口，所述顶部开口与所述第二出口紧密连接，所述底部开口处设置真空出口，所述喷嘴的位置与所述侧面开口对应，所述喷嘴下方设置有凹槽，所述凹槽通过转接头固定，所述转接头设置于所述真空出口处，所述凹槽与所述真空出口连通。

2.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述制冷腔下方设置有转接件，所述喷嘴设置于所述转接件上，所述工作气体管道通过所述转接件与所述喷嘴连接。

3.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述喷嘴处设置有温度传感器。

4.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述转接头上设置有导热杆，所述导热杆与所述制冷腔连接。

5.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述转接头上设置有导热管，所述导热管与所述制冷腔连通。

6.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述凹槽设置于一锥形台顶部，所述锥形台与所述转接头固定连接。

7.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述喷嘴外围设置有加热器。

8.根据权利要求1所述的软X射线光源，其特征在于，所述软X射线光源还包括波纹管和三维位移机构：

所述支撑板设置于所述真空靶室上，所述支撑板上设置有穿过所述支撑板的制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道，所述制冷剂入口管道和所述制冷剂出口管道分别与所述制冷腔连通，所述工作气体管道穿过所述制冷腔并与所述喷嘴连接；

波纹管，所述波纹管设置于所述支撑板与所述真空靶室之间，所述制冷剂入口管道、制冷剂出口管道和工作气体管道均从所述波纹管内部穿过；

所述三维位移机构设置于所述支撑板与所述真空靶室之间。

9.根据权利要求8所述的软X射线光源，其特征在于，所述三维位移机构包括第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器，所述第一位移调节器、第二位移调节器以及第三位移调节器均设置于所述支撑板与所述真空靶室之间并分别控制所述支撑板沿相互垂直的三个方向移动。

10.根据权利要求9所述的软X射线光源，其特征在于，所述软X射线光源还包括相互平行布置且套设于所述波纹管外侧的第一支撑板、第二支撑板以及第三支撑板，所述第一支撑板通过所述第三位移调节器可活动地固定于所述支撑板上，所述第二支撑板通过所述第二位移调节器可活动地固定于所述第一支撑板上，所述第二支撑板同时通过所述第一位移调节器可活动地固定于所述第三支撑板上，所述第三支撑板固定于所述真空靶室上。

11.根据权利要求10所述的软X射线光源，其特征在于，所述第一位移调节器包括第一支撑架、第一推进器、第一导轨以及第一导轨槽，所述第一支撑架固定于所述第三支撑板上，所述第一推进器固定于所述第一支撑架上并与所述第二支撑板对应，所述第一导轨沿第一方向固定于所述第三支撑板上，所述第一导轨槽固定于所述第二支撑板下方并与所述第一导轨滑动配合。