[发明专利]一种扫描致动器、扫描驱动器及光纤扫描器

权利要求书

1.一种扫描致动器，其特征在于，包括致动器本体，致动器本体的前后两端分别为自由端和固定端，自由端相对于固定端沿至少一个垂直于前后方向的轴振动，所述的致动器本体内部和/或表面布设有至少一个质量变化区域，每个质量变化区域均沿前后方向延伸且贯穿致动器本体，致动器本体的各部位被垂直于前后方向的平面截得的截面上各质量变化区域的分布规律相同，质量变化区域内填充有固有频率系数大于或小于致动器本体的固有频率系数的材料，所述的固有频率系数为式中，Y为材料的杨氏模量，ρ为材料的密度。

2.如权利要求1所述的一种扫描致动器，其特征在于，致动器本体的各部位被垂直于前后方向的平面截得的截面上各质量变化区域的分布规律相同是指各质量变化区域在各截面上所处的位置及其面积占整个截面面积的比例均相同。

3.如权利要求1或2所述的一种扫描致动器，其特征在于，致动器本体的各部位被垂直于前后方向的平面截得的各截面是完全相同的或按比例放大或缩小的。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的一种扫描致动器，其特征在于，扫描致动器为压电致动器、磁致伸缩致动器或微机电致动器。

5.如权利要求4所述的一种扫描致动器，其特征在于，扫描致动器为压电致动器，所述的压电扫描致动器为压电陶瓷管或双压电晶片，致动器本体由压电陶瓷材料构成。

6.如权利要求4所述的一种扫描致动器，其特征在于，扫描致动器为压电致动器，所述的压电扫描致动器包括基体和设置于基体表面的压电陶瓷晶片，且基体体积大于压电陶瓷片的体积，所述的致动器本体为基体。

7.一种扫描驱动器，其特征在于，包括至少一个如权利要求1-6中任意一项所述的扫描致动器。

8.如权利要求7所述的一种扫描驱动器，其特征在于，包括至少两个沿从前向后的方向依次设置的致动器，各致动器的前后两端分别为自由端和固定端，位于前侧的致动器的固定端与位于后侧的致动器的自由端固定连接，每个致动器的自由端相对于其固定端沿至少一个垂直于前后方向的轴振动，且各致动器的自由端分别沿不同的轴振动，所述的致动器中至少有一个致动器为所述的扫描致动器。

9.如权利要求8所述的一种扫描驱动器，其特征在于，包括两个沿从前向后的方向依次设置的致动器，以位于前侧的扫描致动器的为第一致动器，以位于后侧的扫描致动器为第二致动器，第一致动器的固定端与第二致动器的自由端固定连接，第一致动器和第二致动器中至少有一个致动器为所述的扫描致动器。

10.一种光纤扫描器，其特征在于，包括如权利要求7-9中任意一项所述的扫描驱动器和光纤，且光纤的前端部超出扫描驱动器形成光纤悬臂，位于光纤悬臂后侧的光纤与扫描驱动器固定连接。