[发明专利]一种缺陷检测方法及系统

说明书

本申请公开了一种缺陷检测方法及系统，其中方法包括以下步骤：步骤S1：对产品的待测位置进行彩色图像和黑白图像的采集；步骤S2：对所述黑白图像进行缺陷分析处理；步骤S3：当所述产品在待测位置存在缺陷时，则保留对应的彩色图像，当所述产品在待测位置不存在缺陷时，则丢弃对应的彩色图像。本申请所提供的申请所提供的缺陷检测系统，通过同步采集待测位置的彩色图像和黑白图像，在缺陷检测完成的同时，不用回拍即可同步实现对彩色缺陷照片的获取，最大限度的提高了UPH，节省了时间成本。

技术领域

本申请涉及晶圆缺陷检测领域，特别是涉及一种缺陷检测方法及系统。

背景技术

随着半导体集成电路的迅速发展，在晶圆制作完成后，一般需要对晶圆的缺陷进行检测。

在晶圆缺陷检测完成后，如果发现有缺陷的晶圆，需要调用彩色相机对检测出的缺陷进行拍照，得到对应的缺陷彩色照片，一般称之为回拍，方便操作员对缺陷类型进行复判。

然而，在工厂中，回拍的次数会随着缺陷数量的增加而增加，花费的时间成本会相应的增加，这会严重的影响设备的产能。

因此，如何有效的降低晶圆检测成本，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。

申请内容

本申请的目的是提供一种缺陷检测方法及系统，用于同步获取产品的彩色缺陷照片，降低产品检测成本。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

一种缺陷检测方法，包括以下步骤：

步骤S1：对产品的待测位置进行彩色图像和黑白图像的采集；

步骤S2：对所述黑白图像进行缺陷分析处理；

步骤S3：当所述产品在待测位置存在缺陷时，则保留对应的彩色图像，当所述产品在待测位置不存在缺陷时，则丢弃对应的彩色图像。

优选的，所述步骤S3之后还包括：

步骤S4：重复执行步骤S1至步骤S3的操作，至采集结束。

优选的，所述步骤S1中，通过图像采集部件采集产品待测位置的彩色图像和黑白图像；所述图像采集部件包括：物镜，用于采集产品返回的信号光；分光装置，用于将所述信号光分为第一信号光和第二信号光；黑白图像传感器，用于接受所述第一信号光，形成黑白图像；彩色图像传感器，用于接受所述第二信号光，形成彩色图像。

优选的，所述步骤S1中，采用黑白相机采集产品待测位置的黑白图像，采用彩色相机采集产品待测位置的彩色图像。

优选的，在所述步骤S1中，在对所述彩色图像和所述黑白图像进行采集之前，还包括步骤：向产品提供光照。

优选的，所述产品为晶圆。

一种缺陷检测系统，包括用于采集产品待测位置的黑白图像和彩色图像的图像采集模块，用于对所述黑白图像进行缺陷分析的缺陷分析模块，用于根据所述缺陷分析模块的分析结果判断是否需要保留对应的彩色图像的缺陷同步拍照模块。

优选的，所述图像采集模块包括用于采集产品待测位置的黑白图像的黑白相机以及用于采集产品待测位置的彩色图像的彩色相机。

优选的，所述图像采集模块包括：物镜，用于采集产品返回的信号光；分光装置，用于将所述信号光分为第一信号光和第二信号光；黑白图像传感器，用于接受所述第一信号光，形成黑白图像；彩色图像传感器，用于接受所述第二信号光，形成彩色图像。

优选的，所述缺陷同步拍照模块用于：当黑白相机采集到的原始图像数据经由缺陷分析模块处理分析后，当有缺陷存在时则保留该黑白图像对应的彩色图像数据，当不存在缺陷时则将黑白图像对应的彩色图像数据作为垃圾数据丢弃。