[发明专利]一种废气处理装置

说明书

本发明提供一种废气处理装置，包括废气导入管、燃烧箱、水箱、排气管，所述燃烧箱位于废气处理装置的上部分，所述废气导入管位于燃烧箱的上部；所述燃烧箱下部、水箱上部设置两张引导板；所述两张引导板中间形成规定的空间，所述空间内设置有喷射喷嘴。本发明装置为一体化构造、占地面积小、大容量处理气体、且设备运转时无需中断也能清理的废气处理装置。

技术领域

本发明属于环保领域，特别涉及半导体制造中相关废气的处理，尤其设计一种废气处理装置。

背景技术

废气处理可以划分为湿法处理方式和干法处理方法。湿法处理方式主要是利用水对废气进行洗净冷华的处理，相对而言具有构成较简单，制作容易且能够大容量处理的优点,但是无法处理非水溶性气体，特别是不适合处理有着强可燃性的包含氢气的一类废气的问题。

干法处理是由废气通过氢燃烧器的火炉直接燃烧或者通过热源形成高温使废气通过并间接燃烧的方式构造而成的。因此干法处理对于可燃性气体的处理有着卓越的效果，但不适用于非可燃性的有毒气体气体处理。

另一方面,使用氢气等可燃性气体及硅烷(SiH₄)等有毒气体气体的反应工程，例如，半导体制造工程比起常温更需要在高温条件下实现，所以在对有毒气体净化的同时也要对废气进行冷却。因此，半导体制造工程中使用干湿混合型废气处理装置。

例如美国的Delatech Incoporation公司开发的废气处理装置首先将废气在燃烧箱内进行一次燃烧处理完可燃性气体及爆炸性气体以后，再在水箱内对水溶性有毒性气体进行二次溶解处理。但是上述种类的混合型废气处理装置，首先因是由互相分离的立式燃烧箱和立式水箱通过连接管连接的方式构成，因此具有占地面积大的缺点；其次,上述种类的混合型废气处理装置具有因通过燃烧箱与水接触的部位会产生大量粉末，从而要求频繁清理装备的缺点。因废气处理装置清洁就会引起排放废气的主工程工作中断，所以从生产性考虑也存在很大的不利因素；再次，上述种类的废气处理装置，存在因与水接触发生化学反应从而与有毒气体结合的水分子跟大气接触到的部位会发生腐蚀的缺点；最后，上述种类的混合型废气处理装置，因大小受限故而对废气的处理能力也是有限的。废气处理装置被要求占地面积小，因此随着占地面积大小不同处理容量也会受限。同时，该种类的废气处理装置为燃烧废气需要充分加热即要求内径要小，但为能够充分燃烧又需要保障足够的长度，因此同时处理大量废气时受限。

发明内容

针对以上缺陷，本发明提供一种一体化构造、占地面积小、大容量处理气体、且设备运转时无需中断也能清理的废气处理装置。

本发明的技术方案为：一种废气处理装置，包括废气导入管、燃烧箱、水箱、排气管，所述燃烧箱位于废气处理装置的上部分，所述废气导入管位于燃烧箱的上部；所述水箱位于废气处理装置的下部分，所述排气管位于水箱外侧的上部；废气经所述废气导入管进入所述燃烧箱和所述水箱处理后由排气管排出；所述燃烧箱下部、水箱上部设置两张引导板；所述两张引导板中间形成规定的空间，所述空间内设置有喷射喷嘴；所述燃烧箱包括燃烧箱外壳，所述燃烧箱上部设置有空气导入管，所述燃烧箱内部设置有加热箱；所述加热箱上部连接废气导入管；所述加热箱内部设置铬镍铁合金管；所述铬镍铁合金管内部插入陶瓷加热器，所述陶瓷加热器两端通过卡箍固定在加热箱上；所述陶瓷加热器与外部电源连接；为防止铬镍铁合金管与内部插入的陶瓷加热器间产生短路，在所述铬镍铁合金管内部与所述陶瓷加热器的空隙夹杂有绝缘体；为防止加热箱两侧的陶瓷加热器连接并供电的卡箍发生热变形或被氧化，在所述加热箱两侧设置有氮气喷嘴；为了定期清除铬镍铁合金管外部加热废气时生成的粉尘，在所述加热箱上部两侧设置有空气清洁喷嘴；废气导入管为冷却燃烧箱发生逆流时流入到废气导入管的高温高压气体，在所述废气导入管外部套有冷却水水套，有效防止高温高压的废气逆流到主设备；所述水箱包括水箱外壳，所述水箱外壳内部设置有吸收器、隔板、水淋喷嘴；所述隔板位于水箱的中间部位，所述水淋喷嘴设置在相应的吸收器上部。

优选地，本发明一种废气处理装置所述废气导入管的数量为2个或多个。