[发明专利]适用于高频信号传输的原位低温透射电子显微镜样品杆有效
申请号: | 201811649281.8 | 申请日: | 2018-12-30 |
公开(公告)号: | CN109742006B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 车仁超;曾庆文;赵雪冰;张捷 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/26 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;陆尤 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 适用于 高频 信号 传输 原位 低温 透射 电子显微镜 样品 | ||
1.一种适用于高频信号传输的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,包括:杜瓦罐,过渡仓,样品杆,样品杆头,同轴电缆;其中,杜瓦罐分为外罐和内罐两个部分,样品杆包括内杆和外杆两个部分;杜瓦罐的外罐和内罐二者在顶部焊接连接,其余间隙密封,在使用前可以抽至高真空;内罐内部设有导热铜柱,铜柱贯穿内、外罐体,并通过螺纹与样品杆的内杆连接,实现温度的传导功能;杜瓦罐外罐与过渡仓焊接连接,过渡仓两侧设置有两种法兰,用于引出同轴电缆和其他控制线路;过渡仓与样品杆外杆通过多个螺丝锁紧,并配有密封圈进行密封,样品杆内杆和外杆整体没有接触,两者之间的空隙在使用时可以抽真空;样品杆外杆与样品杆头通过多个螺丝连接,样品杆内杆与样品杆头通过铜线进行焊接,样品杆内杆前端设有加热电阻片;样品杆头部设有温度传感器。
2.根据权利要求1所述的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,所述同轴电缆采用四根同轴导线,在无氧铜内芯与外杆间的空隙引出,通过法兰和真空接头引出到外部,实现0~4 GHz高频信号的低损传输。
3.根据权利要求1或2所述的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,所述样品杆头部设有温度传感器,内杆前端设有加热电阻片,能够实现从100 K~300 K的连续变温控制。
4.根据权利要求3所述的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,所述杜瓦罐设计成平放的圆柱形,以减小样品杆旋转时重心改变对样品位置精度的影响。
5.根据权利要求1、2或4所述的低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,所述同轴电缆外径为0.95 mm~1.05 mm。
6.根据权利要求5所述的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,过渡仓两侧的法兰,其中一个法兰为聚四氟乙烯,起绝缘作用,射频同轴线通过聚四氟乙烯法兰接地,达到同轴线接地而样品杆不接地的目的;另一个法兰用于引出用于加热的导线。
7.根据权利要求6所述的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,所述样品杆内杆前端较细,用于缠绕柔性电阻片,样品杆内杆与样品杆外杆间的间距为1.4~1.6 mm,同轴线通过样品杆内杆与样品杆外杆间的空隙从聚四氟乙烯法兰引出。
8.根据权利要求1、2、4、6或7所述的原位低温透射电子显微镜样品杆,其特征在于,所述样品杆内杆与一铜线一端相连,铜线另一端与温度传感器一起焊接在样品杆头部,将样品杆内杆的热量传导到样品杆头部。
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