[发明专利]压电式麦克风

权利要求书

1.一种压电式麦克风，包括具有背腔的基底及固定于所述基底上的压电悬臂梁振膜，所述压电悬臂梁振膜包括与所述基底固定连接的固定端及与所述固定端连接并悬置于所述背腔上方的活动端，其特征在于，所述压电悬臂梁振膜由若干大小相同的膜瓣共同组成，且每两相邻所述膜瓣之间具有间隙，所述压电式麦克风还包括支撑背板，所述支撑背板包括与所述压电悬臂梁振膜的活动端间隔相对设置的支撑臂以及固定所述支撑臂的固定臂，所述支撑臂中至少部分结构的延伸方向与所述间隙的延伸方向交错设置。

2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述支撑臂设置于所述压电悬臂梁振膜远离所述背腔的一侧。

3.根据权利要求2所述的压电式麦克风，其特征在于，所述固定臂固定于所述基底或所述压电悬臂梁振膜的固定端。

4.根据权利要求2所述的压电式麦克风，其特征在于，所述固定臂的延伸方向垂直于所述支撑臂的延伸方向。

5.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述支撑臂设置于所述压电悬臂梁振膜靠近所述背腔的一侧，所述压电式麦克风还包括设置于所述支撑背板与所述压电悬臂梁振膜固定端之间的间隔层，从而使得所述压电悬臂梁振膜的活动端与所述支撑背板的支撑臂间隔设置。

6.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述支撑背板包括设置于所述压电悬臂梁振膜远离所述背腔一侧的第一支撑背板以及设置于所述压电悬臂梁振膜靠近所述背腔一侧的第二支撑背板，所述压电式麦克风还包括设置于所述第二支撑背板与所述压电悬臂梁振膜固定端之间的间隔层。

7.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述膜瓣为四个，四个所述膜瓣均呈三角形结构，四个所述膜瓣将所述压电悬臂梁振膜围成矩形结构。

8.根据权利要求6所述的压电式麦克风，其特征在于，所述膜瓣为四个，四个所述膜瓣均呈扇形结构，四个所述膜瓣将所述压电悬臂梁振膜围成圆形结构。

9.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于，所述支撑背板的支撑臂为空心环状结构。