[发明专利]一种类单晶硅铸锭炉的散热系统及方法在审
申请号: | 201811651383.3 | 申请日: | 2018-12-31 |
公开(公告)号: | CN109576786A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 霍焕金 | 申请(专利权)人: | 霍焕金 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B28/06;C30B11/00 |
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地址: | 116039 辽宁省大连市*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 换热 凸起 铸锭炉 单晶硅 啮合 散热系统 中心区域 下炉体 边部区域 底部支撑 顶端设置 固定不动 冷却系统 上下移动 相对设置 一体结构 保温层 上边缘 柱支撑 布设 单晶 散热 凸形 生长 | ||
1.一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,其换热台包括上下两部分,即换热台包括上换热台和下换热台,上换热台和下换热台安装在铸锭炉下炉体中,下换热台由铸锭炉下炉体底部支撑柱支撑,安装在上换热台正下方;上换热台固定不动,下换热台能够上下移动;下换热台下部与冷却系统直接接触固定成一体结构,下换热台上下移动时与冷却系统同时上下移动;
上换热台和下换热台分别设置有基座,所述基座上分散布设若干凸起,凸起的顶端设置有保温层,上换热台和下换热台的凸起相对设置且能够相互啮合;所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的凸起的高度小于中心区域的凸起的高度,使上换热台和下换热台的基座上的凸起相互啮合时中心区域散热速度大于边部区域,起到散热或保温的作用。
2.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的凸起的高度小于中心区域的凸起的高度,高度差不低于1mm,且高度差不大于凸起的高度,凸起的高度根据炉台下炉体的结构而定。
3.根据权利要求1或2所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的凸起的保温层厚度大于中心区域的凸起的保温层厚度。
4.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的换热台的基座和凸起均采用热导率高的石墨材料制得。
5.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的上换热台和下换热台的凸起的形状为长条状、圆环状、圆柱状或其他几何形状。
6.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的保温层采用保温硬毡材料。
7.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的不设置凸起,只保留中心区域的凸起。
8.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的上换热台和下换热台的基座上边缘处的凸起的横截面直径大于中心区域的凸起的横截面直径。
9.根据权利要求1所述的一种类单晶硅铸锭炉的散热系统,其特征在于,所述的冷却系统为液体冷却系统或者气体冷却系统,设置有水或气体作为冷却剂,带走换热台热量,达到冷却作用。
10.基于权利要求1所述的类单晶硅铸锭炉的散热系统的散热方法,其特征在于,散热系统工作时,控制下换热台上下移动,当上换热台和下换热台的凸起顶端的保温层齐平时,整个散热系统保温性最好,起到保温作用,这个状态可用于加热,熔化,退火等阶段;当上换热台和下换热台的凸起啮合,上换热台和下换热台的热导率较高的凸起部分相互相遇时,纵向方向上有部分凸起部分重合,通过热辐射或热传导进行散热,当凸起部分重合较多时热量散失快,当重合部分少时热量散失较慢,这个状态可用于长晶,冷却阶段热量的散失控制。
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