[发明专利]具有偏聚颗粒的固溶体薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种制备具有偏聚颗粒的固溶体薄膜的方法，包括：

1)：将BaTiO₃和BiMnO₃的晶体信息导入到Materials Studio软件中，利用Castep模块计算固溶体中两种晶胞结构的结合能E₁和E₂；

2)：求得结合能E₁和E₂之间的差的绝对值，用所得绝对值除以两晶胞中较大结合能，得到其结合能的差异率，判断差异率是否处在20％到40％之间，从而能够得知是否产生偏聚颗粒；

3)：将硝酸铋、乙酸锰加入乙二醇甲醚中，得到第一溶液，将乙酸钡、钛酸四正丁酯加入乙二醇溶液中，得到第二溶液，在所述第一溶液和所述第二溶液中均加入乙酰丙酮，待澄清后将两者混合，搅拌直至澄清，并进行老化，获得前驱液；

4)：将所述前驱液滴到衬底表面进行旋涂，之后进行烘烤、第一烧结、自然冷却；

5)：重复步骤4)，镀膜12-18层，然后进行第二烧结、自然冷却，获得具有偏聚颗粒的固溶体薄膜；

其中，所述具有偏聚颗粒的固溶体薄膜为具有偏聚颗粒的(1-x)BaTiO₃-xBiMnO₃固溶体薄膜，x为0.06、0.08、0.10或0.12，所述第一烧结包括在700摄氏度下烧结5分钟，所述第二烧结包括在700摄氏度下烧结20分钟。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，进行所述老化包括老化7天。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，将所述前驱液滴到衬底表面进行旋涂包括采用匀胶机在300转/分和5000转/分下分别匀胶12s和45s。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，衬底为Pt/Ti/SiO₂/Si(100)衬底。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述烘烤包括在280摄氏度烘烤5分钟。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法制备的具有偏聚颗粒的固溶体薄膜。