[实用新型]一种液相工作介质供应系统

说明书

本实用新型公开了一种液相工作介质供应系统，包括挤压气体输入管路、第一罐体和工作介质输出管路，挤压气体输入管路上依次设置有第一手动阀、第一单向阀、第一过滤器、第一调压阀和第一气动阀，挤压气体输入管路的输出端连接第一罐体的进气口，第一罐体内储存有液相工作介质，工作介质输出管路的输入端位于第一罐体的底部，工作介质输出管路上依次设置有第一三通阀、第二三通阀和第二手动阀，工作介质输出管路的输出端连接复数个分支管路的输入端，分支管路上依次设置有第三手动阀和第三气动阀，分支管路的输出端连接工作管路；本实用新型实现第一罐体或第二罐体内工作介质的完全供应，避免工作介质残留带来浪费。

技术领域

本实用新型涉及液相工作介质供应技术领域，尤其涉及一种液相工作介质供应系统。

背景技术

由于全球电子、光伏产业的蓬勃发展，及我国政府大力提倡科技兴国，国内半导体、光伏制造业发展迅猛。

在半导体、光伏相关产业常用的制程中需要用到以液态存在的工作介质，工作介质在使用时位于钢瓶中，常用的方法是对钢瓶加热将工作介质以液态转化为气态，以气态进行输送，但是在输送过程中当热量补充不足会出现工作介质以气液混合态存在，流通速度比较慢，输送的流量小，无法满足多台设备同时使用。

实用新型内容

为了解决现有液相工作介质采用加热方式进行输送出现流通速度慢、输送流量小的问题，本实用新型的目的是提供一种液相工作介质供应系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种液相工作介质供应系统，包括挤压气体输入管路、第一罐体和工作介质输出管路，所述挤压气体输入管路的输入端连接挤压气体的钢瓶，所述挤压气体输入管路上依次设置有第一手动阀、第一单向阀、第一过滤器、第一调压阀和第一气动阀，所述挤压气体输入管路的输出端连接第一罐体的进气口，所述第一罐体内储存有液相工作介质，所述工作介质输出管路的输入端位于第一罐体的底部，所述工作介质输出管路上依次设置有第一三通阀、第二三通阀和第二手动阀，所述工作介质输出管路的输出端连接复数个分支管路的输入端，所述分支管路上依次设置有第三手动阀和第三气动阀，所述分支管路的输出端连接工作管路。

采用上述方案，通过挤压气体输入管路向第一罐体内通入挤压气体，位于第一罐体内的液相工作介质被挤压至工作介质输出管路，工作介质输出管路连接复数个分支管路，将工作介质输出管路中的工作介质经分支管路排入多台设备同时使用。

通过以液态形式进行输送，相对于气态形式输送，流通速度快，输送效率高。

其中，所述挤压气体输入管路外侧设置有第一旁通管路和第二罐体，所述第一旁通管路与挤压气体输入管路的连接处位于第一调压阀和第一气动阀之间，所述第一旁通管路上设置有第四气动阀，所述第一旁通管路连接第二罐体的进气口，所述工作介质输出管路的外侧设置有第二旁通管路，所述第二旁通管路的输入端位于第二罐体的底部，所述第二旁通管路上依次设置有第三三通阀，第四三通阀和第四手动阀，所述第二旁通管路的输出端连接分支管路的输入端。

第二罐体作为第一罐体的备用罐体，在第一罐体内无液体工作介质时，通过第二罐体提供工作介质，同时第一旁通管路和第二旁通管路配合使用，避免生产车间的停工停产。