[实用新型]基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器

权利要求书

1.一种基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，包括金属结构层、石墨烯层、介质层、衬底反射层、金属电极和电压源，其特征在于，所述石墨烯层包括：

至少一层石墨烯，所述石墨烯平铺于所述介质层，所述电压源与所述石墨烯连接，通过所述电压源对所述石墨烯施加不同的电压以调控入射光的反射率大小；

所述电光调制器自下而上依次为：所述衬底反射层、所述介质层、所述石墨烯层和所述金属结构层，所述金属电极分别与所述石墨烯层和所述衬底反射层连接。

2.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述衬底反射层为金属反射层，所述衬底反射层、所述介质层和所述石墨烯层构成电容结构。

3.根据权利要求2所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述衬底反射层为金、银或铜以用于反射入射光。

4.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述金属结构层为金属光栅，所述金属光栅的周期在150nm-10μm，占宽比在0.2-0.9，高度为10nm-200nm。

5.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述石墨烯层包括1-15层所述石墨烯。

6.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述介质层的厚度为0-2um。

7.根据权利要求6所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述介质层为氧化铝、氮化硼、氟化镁或二氧化硅。

8.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述电压源施加的电压为0-200v。

9.根据权利要求1所述的基于石墨烯/金属复合结构的电光调制器，其特征在于，所述金属结构层的材料为金、银、铝、镍、铬、钛和铜中的至少一个或者其合金。