[实用新型]一种透射电子显微镜用原位电学样品杆系统

权利要求书

1.一种透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：该系统依次包括中空样品杆框架(1)、传导电信号的高真空圆形气密连接器(2)、陶瓷加热片(3)、热敏电阻(4)、外部电路单元、置于中空样品杆框架内的金属导线(5)、微型样品台(6)、加热芯片(7)，具体结构如下：

样品杆框架(1)为中空结构，其表面沉积绝缘涂层，避免其中的金属导线(5)与样品杆框架(1)短路产生安全隐患，样品杆框架(1)的末端与传导电信号的高真空圆形气密连接器(2)相连，通过传导电信号的高真空圆形气密连接器(2)，隔绝样品杆框架(1)内部高真空与外部大气环境，传导电信号的高真空圆形气密连接器(2)通过金属导线(5)连接样品杆系统前端的陶瓷加热片(3)、热敏电阻(4)、加热芯片(7)与外部电路单元；

陶瓷加热片(3)和热敏电阻(4)集成于微型样品台(6)上，通过金属导线(5)和传导电信号的高真空圆形气密连接器(2)与外部电路单元相连，用于监控对微型样品台的加热温度和加热速率。

2.按照权利要求1所述的透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：微型样品台(6)为金属材质，其表面沉积有80～120μm厚Al₂O₃绝缘层，避免加热芯片和样品与微型样品台(6)短路产生安全隐患。

3.按照权利要求1所述的透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：加热芯片(7)安置于微型样品台(6)内，用于微区温度调控，同时承载各种固体样品，加热芯片(7)由对透射电子束透明的氧化铝窗口、氧化硅窗口、氮化硅窗口或碳化硅窗口组成。

4.按照权利要求1或3所述的透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：加热芯片(7)上的加热电极(9)沉积于窗口(8)上。

5.按照权利要求4所述的透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：加热电极(9)采用四电极结构，两路电极用于测温，两路电极用于加热，加热电线环绕于窗口(8)四周，确保样品加热均匀。

6.按照权利要求4所述的透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：加热芯片(7)上同时沉积有偏压电极(10)，偏压电极(10)采用四电极结构，两路电极用于接通电流，两路电极用于监测电压降。

7.按照权利要求6所述的透射电子显微镜用原位电学样品杆系统，其特征在于：偏压电极(10)沉积于窗口(8)上。