[实用新型]一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统有效
申请号: | 201820025490.4 | 申请日: | 2018-01-06 |
公开(公告)号: | CN207685404U | 公开(公告)日: | 2018-08-03 |
发明(设计)人: | 徐国忠 | 申请(专利权)人: | 盐城市振弘电子材料厂 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/30 |
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地址: | 224021 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 提拉绳 支撑座 转轴 基板上表面 铌酸锂单晶 升降组件 提拉系统 拉制 气缸 仔晶 生长 支撑板上表面 本实用新型 合适位置 炉体顶部 向上运动 转轴端部 组件包括 单晶棒 支撑板 基板 卷绕 壳体 炉体 液位 电机 体内 延伸 保证 | ||
本实用新型公开了一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统,它包括:炉体;升降组件,所述升降组件包括固定在所述炉体顶部的支撑板以及安装在所述支撑板上表面的多个气缸;拉制组件,所述拉制组件包括安装在多个所述气缸上的基板、安装在所述基板上表面的支撑座、设置于所述支撑座上方的转轴、安装在所述支撑座上且与所述转轴端部相连接的电机、一端卷绕在所述转轴上且另一端延伸至所述炉体内的提拉绳、安装在所述提拉绳另一端的仔晶杆以及安装在所述基板上表面且罩在所述转轴外的壳体。这样能够保证提拉绳的另一端位于液位以上的合适位置并带动仔晶杆向上运动,从而实现单晶棒的匀速生长。
技术领域
本实用新型涉及一种提拉系统,具体涉及一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统。
背景技术
铌酸锂晶体是一种重要的具有多功能压电、铁电和电光、声光、非线性、光折变及激光活性等特点的晶体材料,是一种光学性能多、综合指标好的人工晶体。
单晶炉是铌酸锂晶体生长工艺过程中的必备设备,由于单晶在生长拉制过程中存在放肩的变小、等径时的直径变化等因素,使得理论计算出的单晶棒重量和实际重量有一定差距。现有的单晶棒提拉系统结构简单,无法满足上述的要求。
发明内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足而提供一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统。
为解决上述技术问题,本实用新型采用如下技术方案:一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统,它包括:
炉体;
升降组件,所述升降组件包括固定在所述炉体顶部的支撑板以及安装在所述支撑板上表面的多个气缸;
拉制组件,所述拉制组件包括安装在多个所述气缸上的基板、安装在所述基板上表面的支撑座、设置于所述支撑座上方的转轴、安装在所述支撑座上且与所述转轴端部相连接的电机、一端卷绕在所述转轴上且另一端延伸至所述炉体内的提拉绳、安装在所述提拉绳另一端的仔晶杆以及安装在所述基板上表面且罩在所述转轴外的壳体。
优化地,所述拉制组件还包括与所述转轴表面相接触且抵住所述提拉绳的弹性压辊。
进一步地,所述炉体内安装有液位传感器,所述升降组件还包括分别与所述液位传感器、多个所述气缸和所述电机相连接的单片机。
由于上述技术方案运用,本实用新型与现有技术相比具有下列优点:本实用新型铌酸锂单晶棒生长提拉系统,通过采用特定结构的升降组件和拉制组件进行配合,这样能够保证提拉绳的另一端位于液位以上的合适位置并带动仔晶杆向上运动,从而实现单晶棒的匀速生长。
附图说明
图1为本实用新型铌酸锂单晶棒生长提拉系统的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本实用新型作以下详细描述:
如图1所示的铌酸锂单晶棒生长提拉系统,主要包括炉体1、拉制组件2和升降组件3等。
其中,升降组件3包括固定在炉体1顶部的支撑板31以及安装在支撑板31上表面的多个气缸32。拉制组件2包括安装在多个气缸32上的基板21、安装在基板21上表面的支撑座22、设置在支撑座22上方的转轴23、安装在支撑座22上且与转轴23端部相连接的电机24、一端卷绕在转轴23上且另一端延伸至炉体1内的提拉绳26、安装在提拉绳26另一端的仔晶杆27以及安装在基板21上表面且罩在转轴23外的壳体25;这样能够保证提拉绳的另一端位于液位以上的合适位置并带动仔晶杆向上运动,从而实现单晶棒的匀速生长。
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