[实用新型]并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备

说明书

本实用新型涉及一种并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备，其包括类金刚石薄膜工艺腔体、回转腔体、进料系统、真空系统、物料车，类金刚石薄膜工艺腔体内设置有三组工艺组件密封板、周向分布的四组储料腔、回转装置、物料引导装置，物料传导装置、物料腔，进料系统设置有可开合的密封门板，真空系统分别对金刚石薄膜工艺腔体与回转腔体的组合体、进料系统进行真空处理，类金刚石薄膜工艺腔体内可形成独立真空室并独立进行类金刚石薄膜制备，回转装置可实现物料车的传动及自转，回转腔体内的物料腔可与储料腔及进料系统形成密封的独立真空室，进料系统可将物料取出及放入。采用上述方案，本实用新型可实现批量单挂物料并行连续式镀膜生产。

技术领域

本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备。

背景技术

类金刚石薄膜(Diamond-like carbon film) 由于具有许多优异的物理、化学性能，如高硬度、低摩擦系数、优良的耐磨性、高介电常数、高击穿电压、宽带隙、化学惰性和生物相容性等。经过多年的发展，DLC薄膜在很多领域的应用也已进入实用和工业化生产阶段。

现有技术中的类金刚石涂层制备装置主要为单体式镀膜机，单体式镀膜机通常是有一个真空腔体及抽气系统组成，真空镀膜工艺模块装载在腔体不同位置上，在达到所需真空度时，按顺序启用所需真空镀膜工艺模块，来实现材料表面的加工，单一腔体导致产品进出料时需要开关门，不能对产品进行连续生产，这会大大降低生产效率，增大人工成本，而且生产的不连续性造成实际生产中的产品差异性增大，一定程度上会影响产品质量。同时单体式镀膜转架在腔体内公转，转架往往比较大，等离子体在整个镀膜空间的分布极其不均匀，真正镀膜时间短，镀膜等待时间过长，严重影响产品质量，镀膜效率低。

而自动连续式真空镀膜设备是多个独立的镀膜腔的真空镀膜装置，具有连续不间断生产、工艺稳定、生产节拍短的特点，目前大量应用于工业生产。连续式真空镀膜设备可以大大提高生产的自动化程度，提高生产效率，提高良品率。

但是连续式真空镀膜设备结构复杂，多个独立的镀膜腔需要配置多个高真空泵组，大量闸门的使用，增加了生产成本、生产时间、生产空间，复杂的设备增加了待镀工件传动的难度，多个腔体的存在也使增加了生产过程中故障维修的难度和成本，连续式镀膜设备的高门槛大大提高了企业的使用成本；此外，现有的连续式真空镀膜设备对于一些多面、异形的产品（如铣刀、汽车耐磨关键零部件）设计能够实现自转的特种镀膜设备时，受真空门阀高成本及大型翻板阀或插板阀难加工、传动过程的复杂、生产成本的限制，很难设计生产出能够实用的量产机。目前尚未有连续式类金刚石涂层设备。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种可在一个真空腔内实现对产品连续式镀膜生产的并行周向连续式类金刚石薄膜涂覆设备。