[实用新型]一种节能高效型黑硅生产装置有效
申请号: | 201820033062.6 | 申请日: | 2018-01-09 |
公开(公告)号: | CN207676933U | 公开(公告)日: | 2018-07-31 |
发明(设计)人: | 唐磊;陈桂宝;朱姚培;任思栋;徐爱春 | 申请(专利权)人: | 江苏荣马新能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 冯子玲 |
地址: | 223700 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷雾发生装置 黑硅 喷雾总管 节能高效 生产装置 放置板 喷雾室 氢氟酸 硝酸银 喷雾 本实用新型 过氧化氢的 混合液雾化 一次性完成 过氧化氢 间隔均匀 放置槽 连接管 两步法 喷雾管 喷雾口 喷雾头 上端 刻蚀 室内 生产 | ||
1.一种节能高效型黑硅生产装置,包括喷雾室(1)和喷雾发生装置,其特征在于,所述喷雾室(1)内侧壁的两端均设置有若干组滑槽(2),所述滑槽(2)内滑动设置有放置板(3),所述放置板(3)的上端设置有多个放置槽(4),所述放置槽(4)的四个边角处均设置有垫块(5),所述喷雾室(1)的两侧均设置有一个喷雾发生装置,分别为第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7),所述第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7)上端的喷雾口均通过喷雾管(8)连接有喷雾总管(9),所述喷雾总管(9)设置于喷雾室(1)的内侧壁中,且所述喷雾总管(9)的一侧间隔均匀的设置有若干喷雾头(10),所述喷雾头(10)贯穿喷雾室(1)的侧壁设置于喷雾室(1)的内部,所述第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7)处喷雾总管(9)通过连接管(11)相连通,所述喷雾室(1)的顶端设置有吹风机(12),所述吹风机(12)的输出端通过输风管(13)连通连接管(11),所述喷雾室(1)的底端设置有抽风机(14),所述抽风机(14)的输入端连接抽风口(15),所述抽风机(14)的输出端通过输气管(16)连接有第一回收箱(17),且所述输气管(16)连接有输气支管(18),所述输气支管(18)连接有第二回收箱(19),所述喷雾室(1)的外侧壁上设置有控制器(20)。
2.根据权利要求1所述的一种节能高效型黑硅生产装置,其特征在于,所述第一喷雾发生装置(6)和第二喷雾发生装置(7)上喷雾口处的喷雾管(8)上均设置有控制阀,分别为第一控制阀(21)和第二控制阀(22)。
3.根据权利要求1所述的一种节能高效型黑硅生产装置,其特征在于,所述输气管(16)上设置有第三控制阀(23),所述输气支管(18)上安装有第四控制阀(24)。
4.根据权利要求1所述的一种节能高效型黑硅生产装置,其特征在于,所述放置槽(4)的底面板(25)设置为过滤筛板。
5.根据权利要求1所述的一种节能高效型黑硅生产装置,其特征在于,所述吹风机(12)的输入口设置有过滤网。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的