[实用新型]一种超高真空排气台

说明书

本实用新型公开了一种超高真空排气台，包括离子泵、箱体、真空室、载物室和加热室，所述箱体内部底部设有加热室，所述加热室位置处的箱体的内侧安装有两个驱动电机，所述加热室上方的箱体的内部设有载物室，所述载物室上方的箱体内部设有真空室，所述真空管位置处的箱体顶部安装有第二真空计，所述真空管远离真空室的一端安装有离子泵，所述箱体远离第一真空计的一侧安装有控制器。本实用新型通过在加热室位置处的箱体的内侧安装两个驱动电机，且驱动电机的输出端皆安装转轴，并在转轴远离驱动电机的一端延伸至加热室的内部，且转轴上均匀设有风叶，通过电机带动转轴上的风叶转动，便于对加热室热量进行搅拌，使工件均匀受热。

技术领域

本实用新型涉及真空排气技术领域，具体为一种超高真空排气台。

背景技术

目前的真空排气台，包括真空室，真空室上端具有载物台，下端中部设置真空阀,载物台上设有尾管座，尾管座连接工件，由于尾管座沿直线排列，同一批次的工件在进行抽真空作业时，有的工件的抽口距离真空阀近，有的工件的抽口距离真空阀远，当距离阀门近的工件的真空度达到超高真空时，即远端处工件内的真空度达不到超高真空，导致同一批次的工件真空度相差较大；同时要求加热棒的功率有较高的瓦数，才能满足使用要求，但这样就提高了电的使用量，增加了能耗，提高了生产成本，而且电加热棒升温较快，容易使真空管上下温度不均匀，产生批量废品。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超高真空排气台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超高真空排气台，包括离子泵、箱体、真空室、载物室和加热室，所述箱体内部底部设有加热室，且加热室的内壁上设有聚氨酯保温层，所述箱体的底部均匀安装有防火管，且防火管的一端延伸至加热室内部，所述防火管的另一端安装有点火嘴，且防火管靠近点火嘴的一端通过燃气管连接有燃气管道，所述加热室位置处的箱体的内侧安装有两个驱动电机，且驱动电机的输出端皆安装有转轴，所述转轴远离驱动电机的一端延伸至加热室的内部，且转轴上均匀设有风叶，所述加热室上方的箱体的内部设有载物室，且载物室的底部铰接有门体，所述载物室上方的箱体内部设有真空室，且真空室的底部均匀设有尾管座，所述尾管座的一端延伸至载物室内部，所述真空室位置处的箱体外侧安装有第一真空计，且真空室顶部的中间位置处连接有真空管，所述真空管位置处的箱体顶部安装有第二真空计，所述真空管远离真空室的一端安装有离子泵，所述箱体远离第一真空计的一侧安装有控制器。

优选的，所述箱体的底部设有支撑杆。

优选的，所述门体远离载物室一侧的边缘处设有把手。

优选的，所述尾管座上安装有单向阀，且单向阀与控制器电性连接。

优选的，所述燃气管道上安装有两个控制阀。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该新型超高真空排气台，通过在箱体内部底部设置加热室，且加热室的内壁上设置聚氨酯保温层，便于对加热室进行保温，通过在箱体的底部均匀安装防火管，且防火管的一端延伸至加热室内部，并在防火管的另一端安装点火嘴，且防火管靠近点火嘴的一端通过燃气管连接有燃气管道，将电加热改为燃气加热，从而降低能耗节约50％以上成本，同时由于燃气加热是缓慢升温，使加热室内上下温度差较小，降低产品的废品率，通过在加热室位置处的箱体的内侧安装两个驱动电机，且驱动电机的输出端皆安装转轴，并在转轴远离驱动电机的一端延伸至加热室的内部，且转轴上均匀设有风叶，通过电机带动转轴上的风叶转动，便于对加热室热量进行搅拌，使工件均匀受热，本实用新型通过在载物室上方的箱体内部设置真空室，且真空室的底部均匀设置尾管座，尾管座的一端延伸至载物室内部，真空室位置处的箱体外侧安装第一真空计，且真空室顶部的中间位置处连接有真空管，并在真空管位置处的箱体顶部安装第二真空计，真空管远离真空室的一端安装有离子泵，可对多个工件进行抽真空操作，工件的生产周期加快，提高了生产效益。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；