[实用新型]一种可换辊的紫外纳米压印装置

说明书

本实用新型公开了一种可换辊的紫外纳米压印装置，该装置包括外箱、放卷辊、收卷辊、支撑辊、背辊、涂胶装置、换辊装置、微调装置、紫外灯、衬底。首先，衬底由放卷辊释放，涂胶装置在其表面进行涂胶，衬底在收卷辊的作用下移动到换辊装置与背辊之间，再通过微调装置调节压印辊与背辊之间的距离从而施加合适的压力，然后经由紫外灯进行固化，固化完毕后由收卷辊收卷，如果进行下一次压印直接把衬底固定在放卷辊上，不需要拆换辊，直接转动换辊装置然后固定压印辊再次进行压印。本实用新型在压印不同图案时不用拆换压印辊，可直接转动换辊装置，避免了拆卸更换模板和对压印辊进行繁琐且耗时的调整，降低了成本，并大大的提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及纳米压印领域，尤指一种可换辊的紫外纳米压印装置。

背景技术

自从华裔科学家Stephen Y. Chou教授在1995年提出纳米压印概念至今，纳米压印技术已经发展为科学革命中的核心纳米技术之一，因其相较于传统光刻技术，能够实现廉价、快速的制造微纳图案，因此在半导体、生物工程等方面具有很大的市场前景。

目前，纳米压印技术已经形成了热压印、软刻蚀和紫外压印等三种主要的类型，传统的纳米压印方法，在一种微纳图案压印完毕后需要更换模板之后才能压印下一种图案，频繁的拆卸更换模板费时费力，降低了压印的生产率，严重的影响了其工业化生产。除此之外，在更换的过程中难免会产生误差，又需要对压印辊进行繁琐且耗时的调整使其水平并与衬底对齐，否则将会导致压印的图案分辨率降低甚至失败。这些都导致了压印时间长、成本高等问题。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决在辊对辊紫外纳米压印过程中压印完一种微纳图案后需要拆卸辊，换上另一种微纳图案的压印辊进行压印时压印时间长、成本高等问题，提供了一种可换辊的紫外纳米压印装置。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置，其特征在于，包括外箱、放卷辊、涂胶装置、支撑辊、背辊、换辊装置、微调装置、紫外灯、收卷辊、衬底、伺服电机一和伺服电机二，其中，放卷辊与伺服电机二联接并固定在外箱上，衬底包覆在放卷辊与收卷辊上，涂胶装置通过螺钉固定在外箱上，支撑辊通过轴承配合在外箱上，背辊通过轴承配合在外箱上，紫外灯通过螺钉固定在外箱上，收卷辊与伺服电机一联接并固定在外箱上，换辊装置穿过外箱通过轴承连接固定在微调装置上，微调装置通过螺钉固定于外箱上。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置，其特征在于，所述的外箱包括：底板、前箱体、后箱体、上盖板，其中底板水平放置在水平面上，前箱体与后箱体通过螺钉固定在底板上，上盖板通过螺钉固定在前箱体上。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置，其特征在于，所述的换辊装置包括：旋转轴、转盘一、压印辊一、转盘二、固定装置一、固定装置二、压印辊二和压印辊三，其中，压印辊一、压印辊二、压印辊三装卡在转盘一与转盘二之间，固定装置一与固定装置二装配在上盖板上并卡住转盘一，旋转轴通过轴承固定在微调装置上。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置，其特征在于，所述的固定装置一与固定装置二完全相同，内部装有弹簧，使得固定装置一与固定装置二始终卡住转盘一。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置，其特征在于，所述的微调装置包括：外壳、滚珠丝杠、联轴器、伺服电机三、滑块和导轨，其中，外壳底部通过螺钉固定在外箱中的底板上，导轨通过螺钉固定在外壳上，滑块装卡在导轨上，伺服电机三通过螺钉固定在外壳顶部，联轴器一端连接着伺服电机三，另一端与滚珠丝杠相连。

根据本实用新型的目的提出的一种可换辊的紫外纳米装置，其特征在于，所述的压印辊一、压印辊二、压印辊三上均有不同的微结构，可以在涂胶的衬底上压印出不同的微纳图案。