[实用新型]曝光设备有效
申请号: | 201820041264.5 | 申请日: | 2018-01-10 |
公开(公告)号: | CN207867214U | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 褚恒岩;钟明云 | 申请(专利权)人: | 江西联创电子有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 何世磊 |
地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹具 初定位 曝光台 治具 机械手 曝光产品 曝光灯 入料口 本实用新型 电控系统 曝光设备 产品生产 定位过程 方向对齐 放置平面 屏幕玻璃 电连接 侧边 夹持 良率 运输 曝光 移动 保证 | ||
1.一种曝光设备,包括机架、设于机架的初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、机械手及电控系统,机架侧边设有入料口,初定位夹具临近所述入料口设置并夹持从入料口投入的治具,待曝光产品放置于治具上,机械手在初定位夹具与曝光台之间运输治具,曝光台在机架内移动并将治具上的待曝光产品运输至曝光灯处曝光,所述初定位夹具、曝光台、曝光灯、CCD相机、及机械手均电连接所述电控系统;
其特征在于,所述初定位夹具包括一对齐结构,使得放置有待曝光产品的治具在其放置平面内的XY方向对齐。
2.根据权利要求1所述的曝光设备,其特征在于,所述机架还包括一平板,所述初定位夹具、曝光台均设于平板上方,所述对齐结构包括:
两相对设置定位板,固定于平板,每一定位板开设有定位口;
夹紧气缸,朝向所述定位口设置;
定位套,设于夹紧气缸伸缩杆的末端,随伸缩杆的移动靠近或远离定位口,定位并夹紧所述治具;
Y向定位杆,固定于机架并设于两定位板之间的通道靠近曝光台的一侧;
一传送机构,设于两定位板之间,将所述治具在通道内传送并触碰所述Y向定位杆;
治具感应器,临近Y向定位杆设置,检测治具触碰Y向定位杆,治具感应器电连接电控系统。
3.根据权利要求2所述的曝光设备,其特征在于,所述传送机构为皮带转动机构。
4.根据权利要求2所述的曝光设备,其特征在于,所述每一定位板开设有两个定位口,对应的每一定位板的一侧设置有两个定位套及两个夹紧气缸朝向所述定位口。
5.根据权利要求1或2所述的曝光设备,其特征在于,所述曝光台包括:
Y向移动模组,设于机架,曝光灯、CCD相机均设于Y向移动模组移动方向的上方;
X向移动模组,设于Y向移动模组,随Y向移动模组在曝光台的Y方向移动;
曝光座,设于X向移动模组,随X向移动模组在曝光台的X方向移动,所述曝光座上表面开设有真空吸槽,吸附放置于曝光座上的治具;
角度旋转单元,设于X向移动模组与曝光座之间,使曝光座相对治具的初始放置平面呈夹角转动,调整待曝光产品的平面角度。
6.根据权利要求5所述的曝光设备,其特征在于,所述角度旋转单元包括:
多个旋转角电机,环形排布于X向移动模组与曝光座之间,每一旋转角电机的一端与X向移动模组接触,另一端与曝光座底面接触,调整曝光座与X向移动模组的间隔距离。
7.根据权利要求6所述的曝光设备,其特征在于,所述真空吸槽为多个,间隔排列于曝光座上表面,真空吸槽的底部与真空气路系统连通。
8.根据权利要求7所述的曝光设备,其特征在于,所述机架上还设置有曝光台定位传感器,检测曝光台的位置,所述曝光台定位传感器与电控系统电连接。
9.根据权利要求5所述的曝光设备,其特征在于,所述CCD相机设于曝光座进入曝光灯之前的治具运输通道范围的上方,与曝光灯间隔固定于机架顶壁并朝向曝光台设置,获取曝光座上待曝光产品的图像信息。
10.根据权利要求9所述的曝光设备,其特征在于,所述CCD相机为并列设置的两个。
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