[实用新型]一种硅片装片机用旋转式分片装置

说明书

本实用新型涉及一种硅片装片机用旋转式分片装置，目前，通常有人工分片与机械分片方式，人工分片方式效率低、劳动强度大，分片效果差，而机械分片方式采用装片机，使用自动机构分片，但市场上现有的装片机，其分片动作繁琐，机构多，成本高。本实用新型涉及一种硅片装片机用旋转式分片装置，其中：支架中间处安装有轴承座，轴承座内嵌有由第一轴承、第二轴承、第三轴承、固定环构成的轴承系，转轴安装于转盘下部，由隔套将转盘与轴承座隔开，固定环卡在转轴的卡槽内。本装置采用旋转方式的分片装置，使原先的1个节拍1次动作变更为1个节拍2次动作，实现对分片节拍的优化，降低了成本，提高分片速度，效率高，由原先2000PCS/H提升到4000PCS/H。

技术领域

本实用新型涉及硅片装片机技术领域，尤其是一种硅片装片机用旋转式分片装置。

背景技术

在硅片生产的过程中需要把成叠硅片一片片分开，所以要对硅片进行分片。目前，通常有人工分片与机械分片方式，人工分片方式效率低、劳动强度大，分片效果差，而机械分片方式采用装片机，使用自动机构分片，但市场上现有的装片机，其分片动作繁琐，机构多，成本高，实际上，这很大的制约了效率的提高，造成成本的极大浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅片装片机用旋转式分片装置，为克服上述的不足，采用旋转方式的分片装置，使原先的1个节拍1次动作变更为1个节拍2次动作，实现对分片节拍的优化，降低了成本，提高分片速度，效率高，由原先2000PCS/H提升到 4000PCS/H。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种硅片装片机用旋转式分片装置，旋转分片机构包括支架、轴承座、转轴、转盘、隔套、第一轴承、第二轴承、第三轴承、固定环、联轴器、电机、第一连接板、直线滑块、安装板、立板、转接板、吸盘、第二连接板、气缸；其中：支架中间处安装有轴承座，轴承座内嵌有由第一轴承、第二轴承、第三轴承、固定环构成的轴承系，转轴安装于转盘下部，由隔套将转盘与轴承座隔开，固定环卡在转轴的卡槽内，使转轴与轴承系连接，电机通过联轴器与转轴同轴连接，第一连接板上安装有直线滑块，安装板安装于直线滑块上，将六个立板分成两组，分别固定于两端安装板上，每个立板底部均安装有转接板，转接板上安装有吸盘，安装板通过第二连接板与气缸连接。

一种硅片装片机用旋转式分片装置，其中：所述第一轴承为深沟球滚珠轴承6006-2Z，所述第二轴承、第三轴承均为调心球轴承7006C。

一种硅片装片机用旋转式分片装置，其中：所述旋转分片机构一侧安装有弹夹，其另一侧安装有输送线。

本实用新型的优点在于：本装置采用旋转方式的分片装置，使原先的1个节拍1次动作变更为1个节拍2次动作，实现对分片节拍的优化，降低了成本，提高分片速度，效率高，由原先2000PCS/H提升到4000PCS/H。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型中的旋转分片机构主视图；

图3为本实用新型中的旋转分片机构剖视图；

图4为本实用新型中的旋转分片机构俯视图。

附图标记：旋转分片机构1、支架101、轴承座102、转轴103、转盘104、隔套 105、第一轴承106、第二轴承107、第三轴承108、固定环109、联轴器1010、电机1011、第一连接板1012、直线滑块1013、安装板1014、立板1015、转接板1016、吸盘1017、第二连接板1018、气缸1019、弹夹2、输送线3。

具体实施方式