[实用新型]一种腔体门打开装置

权利要求书

1.一种腔体门打开装置，其特征在于：腔体门连接推拉装置，推拉装置将腔体上的腔体门推开或者将打开的腔体门拉回腔体门洞；所述推拉装置设置在升降装置上，升降装置在底座设置的线轨上升降。

2.根据权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述推拉装置包括伸缩气缸、滑轨及腔体门连接机构，所述伸缩气缸的气缸杆通过腔体门连接机构与腔体门连接，所述伸缩气缸、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门连接机构设有两个，连接在腔体门的左右两侧；所述伸缩气缸设有两个，设置在腔体左右两侧；所述滑轨设有两套，布置在腔体的左右两侧。

4.根据权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述推拉装置包括直线电机、减速机构、滑轨及腔体门连接机构，所述直线电机的通过减速机构、腔体门连接机构与腔体门连接，所述直线电机、滑轨固定在升降装置上，所述腔体门连接机构与滑轨活动连接。

5.根据权利要求1至4任一项所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述升降装置包括电机、同步带及丝杆螺母，所述电机固定在腔体外的底座上，所述丝杆竖直安装在腔体的底座上；所述电机通过同步带带动丝杆转动，推拉装置通过升降装置上的固定板固定在螺母上；线轨固定在底座上，所述固定板与线轨滑动连接，固定板可沿线轨上下运动。

6.根据权利要求5所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述丝杆螺母设有两套，分别设置在腔体两侧；所述线轨设有四个，腔体左右两侧各设有两个。

7.根据权利要求6所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门包括内腔体门和外腔体门；内腔体门与外腔体门固定连接，所述外腔体门隔绝腔体内外，所述内腔体门为喷淋板。

8.基于权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门打开装置应用在原子层沉积设备的腔体门上。

9.基于权利要求1所述的一种腔体门打开装置，其特征在于：所述腔体门打开装置应用在化学气相沉积设备的腔体门上。