[实用新型]一种霍尔薄膜样品装夹结构

说明书

本实用新型提供了一种霍尔薄膜样品装夹结构，包括PCB样品板和金手指卡槽，所述PCB样品板一端与金手指卡槽连接，所述PCB样品板另一端的上表面上设有四个贴片螺母和薄膜样品放置区，四个所述贴片螺母分别通过四根导电线与放置在所述薄膜样品放置区的薄膜样品的四角一一对应连接。该霍尔薄膜样品装夹结构通过导电线取代现有的探针作为电极，有效避免了霍尔薄膜样品在装夹中其薄膜层易损坏而影响测量精度和稳定性的问题，且使用方便。

技术领域

本实用新型属于半导体测试技术领域，具体涉及一种霍尔薄膜样品装夹结构。

背景技术

霍尔系数是了解半导体材料电学特性的一项重要参数，目前，在霍尔系数薄膜材料测量中，一般是将薄膜材料镀在矩形玻璃基底上形成一层薄膜层，并通过四个探针与薄膜层接触导电进行霍尔系数的测量；然而，由于薄膜材料镀在矩形玻璃基底上薄膜层很薄，在霍尔样品装夹中探针尖很容易划伤薄膜层露出基底，从而影响测量精度及稳定性，因此需设计一种新的针对薄膜样品测量的装夹方式。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有对于霍尔薄膜样品的霍尔系数测量中，薄膜层很薄，易被探针尖损坏而影响测量精度及稳定性的问题。

为此，本实用新型提供了一种霍尔薄膜样品装夹结构，包括PCB样品板和金手指卡槽，所述PCB样品板一端与金手指卡槽连接，所述PCB样品板另一端的上表面上设有四个贴片螺母和薄膜样品放置区，四个所述贴片螺母分别通过四根导电线与放置在所述薄膜样品放置区的薄膜样品的四角一一对应连接。

作为实施方式之一，四个所述贴片螺母与薄膜样品对应的四角之间的距离相等。

作为实施方式之一，四个所述贴片螺母构成矩形，所述薄膜样品放置区位于该矩形中心。

作为实施方式之一，所述导电线为银线。

作为实施方式之一，所述导电线两端与所述贴片螺母和薄膜样品之间通过焊接固定。

作为实施方式之一，所述导电线两端与所述贴片螺母和薄膜样品之间通过导电银胶粘接固定。

作为实施方式之一，所述PCB样品板与所述金手指卡槽之间可拆卸插接固定。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：本实用新型提供的这种霍尔薄膜样品装夹结构通过导电线取代现有的探针作为电极，有效避免了霍尔薄膜样品在装夹中其薄膜层易损坏而影响测量精度和稳定性的问题。

以下将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。

附图说明

图1是本实用新型霍尔薄膜样品装夹结构的示意图。

附图标记说明：1、金手指卡槽；2、PCB样品板；3、贴片螺母；4、薄膜样品放置区；5、导电线。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。