[实用新型]颗粒捕捉器

权利要求书

1.颗粒捕捉器，其特征在于：其包括捕捉器壳体(1)、捕捉器盖(2)、导流器外壳(3)、导流器(4)以及滤芯(5)；所述导流器外壳(3)内设有导流器(4)，所述导流器(4)外侧设有若干增加气体行程的螺旋叶片，导流器外壳(3)上设有供气体流通的小孔。

2.根据权利要求1所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述导流器外壳(3)与滤芯(5)并排放置，总进气口(6)设置在导流器外壳(3)的上部，总出气口(7)设置在滤芯(5)的上部。

3.根据权利要求1或2所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述导流器(4)上设有供气体流通的小孔；所述导流器外壳(3)的底部设有供气体流通的小孔。

4.根据权利要求3所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述导流器(4)为焊有法兰的中空不锈钢管，不锈钢管上设有小孔，气体可经不锈钢管上的小孔由流入中空的不锈钢管内或由中空的不锈钢管内流出。

5.根据权利要求4所述的颗粒捕捉器，其特征在于：所述气体在导流器(4)内与空气中的水分反应生成氧化铝粉末，气体经由导流器外壳(3)底部的小孔流出，氧化铝粉末粘附在滤芯(5)的外壁，气体从滤芯(5)上小孔内被抽出，由总出气口(7)排出。

6.根据权利要求4所述的颗粒捕捉器，其特征在于：捕捉器盖(2)设置在捕捉器壳体(1)上部，导流器外壳(3)及滤芯(5)从捕捉器盖(2)内伸出，捕捉器盖(2)连接颗粒捕捉器及机器设备。

7.根据权利要求4所述的颗粒捕捉器，其特征在于：底脚(8)通过螺纹连接在捕捉器壳体(1)的底部，松掉捕捉器盖与机器设备连接的卡钳，转动底脚(8)，将底脚(8)上调,此时颗粒捕捉器底部的滚轮接触地面，捕捉器盖与壳体脱开。

8.采用权利要求1所述的颗粒捕捉器的原子层沉积设备，其特征在于：原子层沉积设备的尾气出口连接颗粒捕捉器。