[实用新型]在线吸气剂吸气测试装置

说明书

本实用新型公开了在线吸气剂吸气测试装置，由储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀，可加热样品管和进气阀组成，可加热样品管内置吸气剂，其中储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀由管路顺序连接，形成一个闭路循环，所述的储气瓶与流量计之间的管路一分为二，一根连接流量计，另一跟连接进气阀，所述的第一三通阀另一接口通过管路连接可加热样品管一端，可加热样品管另一端通过管路连接在第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上，所述的第二三通阀另一接口连接管路为排气口。简单气路连接，不断测试气路中标准气体的气体含量，从而达到测试吸气剂对于标准气体内气体吸收情况。

技术领域

本实用新型涉及吸气测试装置领域，具体为一种在线吸气剂吸气测试装置。

背景技术

吸气剂，也称消气剂，英文名getter，是用来获得、维持真空以及纯化气体等，能有效地吸着某些(种)气体分子的制剂或装置的通称。有粉状、碟状、带状、管状、环状、杯状等多种形式。

吸气剂大量应用于真空电子器件中，为器件创造了良好的工作环境，稳定了器件的特性参量，对器件的性能及使用寿命有重要的影响

但是长久以来对于蒸散形吸气剂测试其吸气量已经很成熟，而对于费蒸散型吸气剂以及常温吸气剂来说，想测试其吸气量并不容易。

特别是对于非金属常温吸气剂来说，其对于气体吸收缓慢，达不到瞬间大量吸气效果，更难准确测试其吸气量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在线吸气剂吸气测试装置，用死循环采样装置，串联色谱或者质谱仪，达到准备测量常温吸气剂吸气量的目的。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

在线吸气剂吸气测试装置，其特征在于：由储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀，可加热样品管和进气阀组成，可加热样品管内置吸气剂，其中储气瓶，流量计，循环泵，第一三通阀，色谱、质谱仪，第二三通阀由管路顺序连接，形成一个闭路循环，所述的储气瓶与流量计之间的管路一分为二，一根连接流量计，另一跟连接进气阀，所述的第一三通阀另一接口通过管路连接可加热样品管一端，可加热样品管另一端通过管路连接在第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上，所述的第二三通阀另一接口连接管路为排气口。

所述的储气瓶与流量计之间的管路上设有三通，进气阀管路连接在三通上。

所述的第一三通阀与色谱、质谱仪之间的管路上设有三通，可加热样品管另一端管路连接三通上。

所述的三通为不锈钢三通。

所述的储气瓶上设有压力表。

所述的进气阀前端设有接头，用于连接充气泵。

工作原理为：旋转第二三通阀，打开排气通道，将测试装置内部气体排除；

旋转第二三通阀，关闭排气通道，打开进气阀，第一三通阀联通色谱、质谱仪，气体形成循环，测量标准气压，作为标准；

旋转第二三通阀，关闭排气通道，打开进气阀，第一三通阀联通可加热样品管，气体经过可加热样品管内的吸气剂，气体经过循环，检查气压，低于标准气压情况，在打开进气阀，充入气体，如此循环，直至气压回归标准，以此可通过对比前后差异值及最终气体含量，计算吸气剂的吸气量。

本实用新型有益效果：

简单气路连接，利用循环泵将标准气体在气路中通过吸气剂后循环，利用色谱或者质谱仪自动取样，不断测试气路中标准气体的气体含量，从而达到测试吸气剂对于标准气体内气体吸收情况。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；