[实用新型]一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆

说明书

本实用新型公开一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆，包括右密封片，所述右密封片安装在右安装片的前端，所述右安装片后端设置有加固装置，所述右密封片内部和后侧设置有向后伸出的平底炉胆，通过在该平底退火炉炉胆的左安装片和右安装片的内壁上均增加了一个加固装置，来使得该平底退火炉炉胆能够更加牢固的固定在外部设备内部，防止因为时间过久后平底炉胆会产生松动而影响退火效果，使得平底炉胆不必担心松动能够时刻保持紧固的状态进行工作，并且该加固装置会通过压力弹簧的弹力使得加固装置对平底炉胆的左安装片和右安装片时刻产生挤压力，使得平底炉胆固定的更加紧致，从而增加该平底退火炉炉胆的耐久性，同时具有节能减排的效果。

技术领域

本实用新型属于退火炉炉胆相关技术领域，具体涉及一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

现有的退火炉炉胆技术存在以下问题：现有的退火炉炉胆在使用时间过久后会产生松动的状况，这样会影响退火炉炉胆的退火效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆，以解决上述背景技术中提出的退火炉炉胆使用时间过久后容易松动从而影响其退火效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有节能功能的不锈钢带用平底退火炉炉胆，包括右密封片，所述右密封片安装在右安装片的前端，所述右安装片后端设置有加固装置，所述右密封片内部和后侧设置有向后伸出的平底炉胆，所述平底炉胆前端依次穿过加固装置、右安装片和右密封片并且固定在右安装片和右密封片的内部，所述平底炉胆最前端设置有进料口，所述进料口固定安装在右密封片上，所述平底炉胆内壁上设置有耐高温涂层，所述平底炉胆外部外壁上设置有包围左右两侧和上端外壁的散热管，所述平底炉胆最后端设置有出料口，所述出料口前端四周外部设置有左密封片，所述左密封片后端设置有左安装片，所述平底炉胆后端穿过左安装片和左密封片并且固定在左安装片和左密封片的内部，所述左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片上四角处外壁上设置有安装孔，所述安装孔两端均穿过左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片的两端外壁并设置在左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片的内部，所述安装孔的内部设置有固定螺纹杆，所述固定螺纹杆两端均穿过安装孔并设置在安装孔的两端外部。

优选的，所述加固装置上设置有连接板，所述连接板前端固定安装在右安装片的后端外壁上，所述连接板前侧设置有压力弹簧，所述压力弹簧后侧设置有受力板，所述连接板和受力板上四角处外壁上均设置有安装孔，所述安装孔两端均穿过连接板和受力板两端外壁并设置在连接板和受力板的内部。

优选的，所述压力弹簧最上端设置有上固定片，所述上固定片固定连接在受力板的内壁上，所述压力弹簧最下端设置有下固定片，所述下固定片固定连接在连接板的内壁上。

优选的，所述加固装置共设置有两个，且两个加固装置分别安装在左安装片和右安装片的内壁上。

优选的，所述左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片上均设置有四个安装孔，且左密封片、左安装片、加固装置、右安装片和右密封片上的安装孔形状大小均相等。

优选的，所述每个加固装置上均设置有八个压力弹簧，所述八个压力弹簧分别通过上固定片和下固定片等距安装在连接板和受力板的内壁上。

与现有的技术相比，本实用新型的有益效果是：