[实用新型]一种多晶硅片的加工装置有效
| 申请号： | 201820064665.2 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN207789380U | 公开（公告）日： | 2018-08-31 |
| 发明（设计）人： | 鲍官培;黄丹丹;张春雨;乔印虎 | 申请（专利权）人： | 安徽科技学院 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 邓唯 |
| 地址： | 239000*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅片 加工工件 金刚线 微缺陷 固结磨料 加工装置 本实用新型 超声波装置 太阳能硅片 复合超声 硅片表面 均匀致密 切割加工 切割区域 陷光结构 转换效率 超声波 线切割 导轮 钢线 硅锭 进给 绒面 套紧 贴合 制绒 切割 施加 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅片的加工装置，其特征在于，包括：
加工工件（1）；
固结磨料金刚线（3），套紧于工作导轮（2）上，并贴合于加工工件（1），用于对加工工件（1）进行线切割；
超声波装置，用于向固结磨料金刚线（3）在加工工件（1）上的切割区域施加超声波。
2.根据权利要求1所述的多晶硅片的加工装置，其特征在于，还包括：进给装置，用于将加工工件（1）向固结磨料金刚线（3）方向作进给运动。
3.根据权利要求1所述的多晶硅片的加工装置，其特征在于，还包括：张紧导轨（4）、卷丝滚筒（5），工作导轮（2）与张紧导轨（4）、卷丝滚筒（5）共同绷紧并带动固结磨料金刚线（3）运动。
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