[实用新型]一种用于还原尾气高纯硅粉收集器有效
申请号: | 201820072276.4 | 申请日: | 2018-01-16 |
公开(公告)号: | CN207838486U | 公开(公告)日: | 2018-09-11 |
发明(设计)人: | 秦亮;张希海;刘慎 | 申请(专利权)人: | 询莱流体技术(上海)有限公司 |
主分类号: | B01D45/16 | 分类号: | B01D45/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201499 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋风分离器 高纯硅粉 进气管 罐体 收集器 本实用新型 还原尾气 螺旋形 下端 旋风分离器连通 圆柱体结构 保障作用 罐体内部 罐体外部 罐体中心 均匀布置 平稳运行 气体产生 气体出口 下游设备 上端 氮化硅 硅粉 流道 翼阀 磨损 连通 堵塞 回收 维护 | ||
1.一种用于还原尾气高纯硅粉收集器,具有罐体(1),其特征在于,所述罐体上设有进气管(2)、旋风分离器(3)和气体出口(6),所述罐体(1)为圆柱体结构且为收集器主体,所述的进气管(2)设于罐体(1)的顶部,进气管的上端凸出于罐体外部、下端与所述旋风分离器(3)连通;旋风分离器设于罐体内部且具有多个,每个旋风分离器的上部都与所述进气管连通,旋风分离器围绕罐体中心环形均匀布置,旋风分离器内部具有螺旋形的流道使得气体产生螺旋形流向,旋风分离器的下端设有翼阀(7)。
2.根据权利要求1所述的用于还原尾气高纯硅粉收集器,其特征在于,罐体下部设有硅粉收集器(4),硅粉收集器(4)的底部设有硅粉下料口(41);罐体内部上端具有集气室(5),气体出口(6)位于罐体侧顶部并与所述集气室连通。
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