[实用新型]真空镀膜腔内无线无源温度测量装置

权利要求书

1.一种真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：包括置于真空室（6）外的射频读取器（5）、与射频读取器（5）通过接线盘连接的置于真空室（6）内的传输天线（4）和与传输天线（4）无线连接的置于真空室（6）内的传感器单元（2）。

2.根据权利要求1所述真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述置于真空室（6）外的射频读取器（5）与置于真空室（6）内的传输天线（4）通过接线盘连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传输天线（4）可采用偶极子、单极子、螺旋、贴片结构中的一种。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传感器单元（2）贴装在所需镀膜材料表面、靶的侧面上。

5.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传感器单元（2）在被测器件表面设置至少一个，且各个传感器单元通过工作频段区分。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述传感器单元（2）集成了声表面波器件和天线，且所述声表面波器件采用二氧化硅、环氧树脂绝缘材料封装。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述声表面波器件的衬底材料为铌酸锂、硅酸镓镧、氮化铝、石英压电材料中的一种。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜腔内无线无源温度测量装置，其特征在于：所述声表面波器件的电极材料为铂、铑、钼、铜、银、铝导电材料中的一种。