[实用新型]一种感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置

权利要求书

1.一种感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴包括绝缘封装管(1)、高频感应线圈(2)、封装结构A(3)、等离子灯炬卡具(4)、等离子灯炬(5)、射频感应线圈(6)、雾化喷嘴(7)和封装结构B(8)，采用密封设计，由上到下依次为绝缘封装管(1)、等离子灯炬(5)和雾化喷嘴(7)，所述绝缘封装管(1)通过封装结构A(3)与所述等离子灯炬卡具(4)相连，所述等离子灯炬(5)通过封装结构B(8)与所述等离子灯炬卡具(4)相连，所述雾化喷嘴(7)与所述等离子灯炬(5)通过所述等离子灯炬卡具(4)相连，所述绝缘封装管(1)穿过所述高频感应线圈(2)，所述射频感应线圈(6)环绕在所述等离子灯炬(5)的管壁上，与所述等离子灯炬(5)的管壁之间间隙为1～5mm。

2.根据权利要求1所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴一体化装置的耐正压大于1MPa，内腔真空度可达10^-4Pa。

3.根据权利要求1所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述绝缘封装管(1)为圆柱状结构，采用石英玻璃材料制作而成。

4.根据权利要求1所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述等离子灯炬(5)为圆柱状结构，采用石英玻璃材料制作而成，管壁为水冷壁结构，冷却水的进出口设置在所述等离子灯炬卡具(4)上，所述等离子灯炬(5)的主气入口和边气入口设置在所述等离子灯炬卡具(4)上，所述主气入口的数量为2个，所述边气入口的数量为2～4个，对称分布，切线进气。

5.根据权利要求4所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述等离子灯炬(5)的管壁水冷壁结构为三层两通道结构，下端封闭，上端一侧通道进水，另一侧通道出水。

6.根据权利要求4所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述的主气和边气采用氦气或氩气，主气流量为10～100L/min，边气流量为20～300L/min，所述氦气或氩气纯度不低于99.995％。

7.根据权利要求1所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述雾化喷嘴(7)为高压雾化喷嘴，采用水冷结构，雾化气入口(9)数量为2个，左右对称布置，所述雾化喷嘴(7)的雾化气通道为环形缝，宽度为0.2～0.6mm，环形缝喷出的雾化气流形成40～80°的雾化角。

8.根据权利要求6所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述雾化气为氩气或氦气，压力为5～10MPa，雾化气流量为2～20m³/min。

9.根据权利要求1所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述封装结构A(3)、等离子灯炬卡具(4)、雾化喷嘴(7)和封装结构B(8)的材质为不锈钢。

10.根据权利要求4所述的感应加热与射频等离子联合雾化喷嘴的一体化装置，其特征在于：所述等离子灯炬(5)的主气通道(10)为圆柱状的石英玻璃管，安装在所述等离子灯炬(5)内，所述等离子灯炬(5)管壁与主气通道(10)之间的间隙为边气通道。