[实用新型]用于单晶硅棒的对中检测机构有效

专利信息
申请号: 201820082353.4 申请日: 2018-01-18
公开(公告)号: CN207972154U 公开(公告)日: 2018-10-16
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;徐开涛;谢永旭;卢嘉彬;沈文杰;李林;朱亮 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 梯形丝杆 滑座 安装座 横杆 导轨 副尺 本实用新型 单晶硅棒 活动安装 主刻度尺 导向块 竖向 半导体加工技术 水平方向位移 拆卸方便 反向螺纹 副刻度尺 检测结果 驱动机构 生产效率 竖向安装 无螺纹 检测 硅棒 滑槽 两段 支架 底座 嵌入 生产成本 平行 穿过
【权利要求书】:

1.一种用于单晶硅棒的对中检测机构,包括固定在底座上的竖向的安装支架;其特征在于,在安装支架上设有竖向且平行的主刻度尺和导轨;导轨上活动安装两个滑座,各滑座上均固定装有横杆导向块,检测横杆嵌入于横杆导向块的滑槽内且能沿水平方向位移;两个滑座之间的导轨上活动安装了副尺安装座,副刻度尺固定在副尺安装座上且与主刻度尺相邻;该机构还包括一个竖向的左右旋梯形丝杆,其一端设驱动机构;梯形丝杆穿过两个滑座和副尺安装座,两个滑座分别位于梯形丝杆的两段反向螺纹的范围内,副尺安装座位于梯形丝杆中间的无螺纹区域。

2.根据权利要求1所述的机构,其特征在于,所述主刻度尺上设副尺对准块,当副刻度尺与副尺对准块接触时,副刻度尺的0刻度与主刻度尺的0刻度正对。

3.根据权利要求1所述的机构,其特征在于,所述驱动机构是旋转手柄,或者是由电机与连接部件组成的电动驱动机构。

4.根据权利要求1所述的机构,其特征在于,所述横杆导向块通过螺钉固定在滑座上。

5.根据权利要求1所述的机构,其特征在于,所述梯形丝杆是左右旋梯形丝杆,左右旋梯形丝杆旋转时两根检测横杆之间的距离会发生改变。

6.根据权利要求1所述的机构,其特征在于,所述主刻度尺两端通过螺钉安装在安装支架上。

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