[实用新型]三氟化硼气体微量计量装置

权利要求书

1.一种三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：包括三氟化硼钢瓶(1)、BF₃棕色瓶(10)和棕色缓冲瓶(11)，三氟化硼钢瓶(1)上部设有钢瓶阀门(2)，钢瓶阀门(2)连接输出管(4)，输出管(4)上依次设有第一针型阀(3)、第一三通(5)和第二针型阀(7)，第一三通(5)还连接压力表(6)，BF₃棕色瓶(10)顶部设有第二三通(8)，第二三通(8)与第二针型阀(7)通过管线连接，BF₃棕色瓶(10)的壁上设置刻度板(9)，BF₃棕色瓶(10)与棕色缓冲瓶(11)通过管线连接，棕色缓冲瓶(11)顶部设有排气管(12)，棕色缓冲瓶(11)放置于升降台(13)上。

2.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：第二三通(8)还通过管线连接聚合单元小试聚合瓶(14)。

3.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：第一针型阀(3)和第二针型阀(7)是不锈钢阀门，材质316L。

4.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：第一三通(5)是不锈钢三通，两端分别连接第一针型阀(3)、第二针型阀(7)，上端连接M20*15压力表(6)接口，压力表(6)量程为25MPa，材质316L。

5.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：第二三通(8)是不锈钢三通阀，材质316L，通过橡胶塞设置在BF₃棕色瓶(10)上。

6.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：第二三通(8)与第二针型阀(7)通过聚四氟橡胶管连接。

7.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：BF₃棕色瓶(10)与棕色缓冲瓶(11)通过聚四氟橡胶管连接。

8.根据权利要求1所述的三氟化硼气体微量计量装置，其特征在于：BF₃棕色瓶(10)体积为2500mL。