[实用新型]一种氮化镓系高光效LED外延垒晶片及芯片有效
申请号: | 201820089758.0 | 申请日: | 2018-01-19 |
公开(公告)号: | CN207883719U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 颜建锋;敖辉;彭泽洋;庄文荣;孙明 | 申请(专利权)人: | 东莞市中晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/06;H01L33/32;H01L33/00 |
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地址: | 523500 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量子阱 密度层 晶片 本实用新型 氮化镓系 芯片 氮化镓 高光效 缓冲层 衬底 生长 氮化镓缓冲层 发光层 缺陷层 光效 制备 | ||
本实用新型公开了一种氮化镓系高光效LED外延垒晶片及芯片,包括:外延垒晶衬底、外延垒晶层,外延垒晶层依次包括:缓冲层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓,在量子阱与n型氮化镓之间包括一层高缺陷密度层:缓冲层:在n型氮化镓与外延垒晶衬底之间生长氮化镓缓冲层;n型氮化镓:生长于氮化镓高缺陷密度层之上,量子阱之下;高缺陷密度层:在量子阱与n型氮化镓之间,为含C缺陷层;量子阱:为发光层,在高缺陷密度层与p型氮化镓之间;p型氮化镓:生长于氮化镓量子阱之上。本实用新型的LED外延垒晶片提高了现有技术同等规格LED外延片制备的芯片的光效。
技术领域
本实用新型涉及LED外延垒晶片及芯片。更具体地说,本实用新型涉及氮化镓系高光效LED外延垒晶片及芯片。
背景技术
氮化镓LED是半导体二极管中的一种发光二极管,发光二极管早在1962年就出现,现有技术中的发光二极管一般都由含镓、砷、磷等的化合物组成,能把电能转化为光能,其与普通的二极管一样是由PN结组成,单向导电,给发光二极管加上正向电压后,从P区注入到N区的空穴和由N区注入到P区的电子,在PN结附近数微米内分别与N区的电子和P区的空穴复合,产生自发辐射的荧光。不同材料的发光二极管由其材料的不同释放的能量状态也不同。当电子和空穴复合时释放出的能量多少不同,释放出的能量越多,则发出的光的波长越短,氮化镓LED自1990年起被常用于发光二极管中,由其能隙宽,热导率大、介电常数小、抗辐射能力强,化学性能稳定等成为第三代半导体材料的典型代表,一般能用于制备抗辐射、高频、大功率和高密度集成电子器件,而且可以用作蓝、绿、紫外发光元件和光探测器件等,其应用领域随着氮化镓LED的深入研究,在取代传统照明领域的基础上不断地向其他领域扩展。
随着氮化镓LED行业的持续发展,氮化镓也成为了全球半导体研究的热点和前沿领域,被誉为IT行业的又一“发动机”,市场应用端的大力推进,另一方面其技术端也在突飞猛进的研发,使得氮化镓LED的质量在不断的提高、价格一直成走低趋势。在这一严峻的形势下,各企业为提高氮化镓LED市场的占有率,在氮化镓LED的研发领域各现神通,而其中提高光效是各企业研究的重中之重,光效即发光效率,就是光通量与点功率之比,单位一般为lm/W。发光效率代表了光源的节能特性,这是衡量现代光源性能的一个重要指标。各企业纷纷投入了大量的人力物力在此项指标上进行研究开发,以此来提高自己产品在市场上的卖点。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种氮化镓系高光效LED外延垒晶片,使其具备低缺陷密度、高质量的氮化镓量子阱层。
本实用新型的另一个目的是提供一种氮化镓系LED外延垒晶片可以以同等规格的氮化镓LED在现就技术的基础上提高其光效,使其在运用于发光体后能节约能源,并且与现有的氮化镓LED相比较在同能功率下本实用新型的氮化镓LED提高了光通量。
本实用新型的另一个目的是提供一种氮化镓系高光效LED外延垒晶片,使其应用于发光体中可以在不需要荧光粉激发的情况下,发长波长的光,如黄光、红光等。
为了实现根据本实用新型的目的和其它优点,提供了一种氮化镓系高光效LED外延垒晶片,包括:外延垒晶衬底、外延垒晶层,外延垒晶层依次包括:缓冲层、n型氮化镓、量子阱、p型氮化镓,在量子阱与n型氮化镓之间包括一层高缺陷密度层:
缓冲层:在n型氮化镓与外延垒晶衬底之间生长氮化镓缓冲层;
n型氮化镓:生长于氮化镓高缺陷密度层之上,量子阱之下;
高缺陷密度层:在量子阱与n型氮化镓之间,优选为含C缺陷层;
量子阱:为发光层,在高缺陷密度层与p型氮化镓之间;
p型氮化镓: 生长于氮化镓量子阱之上。
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